金屬有機物氣相外延:理論與實踐

金屬有機物氣相外延:理論與實踐

《金屬有機物氣相外延:理論與實踐》是2016年北京大學出版社出版的圖書。

基本介紹

  • 中文名:金屬有機物氣相外延:理論與實踐
  • 作者:(美)斯特林費洛(Gerald B. Stringfellow)
  • 出版社:北京大學出版社
  • 出版時間:2016年11月
  • 開本:16 開
  • 裝幀:平裝
  • ISBN:9787301275177
內容簡介,圖書目錄,

內容簡介

《金屬有機物氣相外延——理論與實踐 (第二版)》作為金屬有機物氣相外延(OMVPE或MOCVD)基礎理論和套用實踐方面的教學參考書,適用於材料物理,材料化學和電子專業的本科生和研究生。同時也適合作為OMVPE生產和研發人員的工具書。本書章首先總攬了OMVPE的生長過程,並和其他的外延工藝做細緻的比較。第二到第六章則分別論述了OMVPE生長的各個方面:熱力學(第二章),表面物理過程(第三章),反應源(第四章),動力學(第五章)以及流體力學和質量輸運(第六章)。這些論述不但包括基本的模型論述,還包括主要研究進展以及發展的趨勢,內容豐富。第七章討論了OMVPE生長過程的設計,包括動力學限制及高溫區的生長,同時也對整體的OMVPE過程進行設計。第八章則介紹了諸如GaAs,InP,GaN等特定的材料。第九章介紹了超晶格結構,第十章則對OMVPE生長的器件進行了論述。

圖書目錄

第一章 OMVPE方法概述…………………………………………………… 1
 1.1 引言………………………………………………………………………… 1
 1.2 外延技術的比較…………………………………………………………… 2
 1.3 OMVPE生長過程概述…………………………………………………… 7
 參考文獻………………………………………………………………………… 14
第二章 熱力學………………………………………………………………… 16
 2.1 相平衡的熱力學基礎……………………………………………………… 17
 2.2 相圖………………………………………………………………………… 34
 2.3 外延生長的熱力學驅動力………………………………………………… 60
 2.4 固態組分………………………………………………………………… 65
 2.5 四元系……………………………………………………………………… 81
 2.6 表面熱力學……………………………………………………………… 82
 參考文獻………………………………………………………………………… 89
第三章 表面物理過程………………………………………………………… 99
 3.1 引言………………………………………………………………………… 99
 3.2 表面測量技術…………………………………………………………… 100
 3.3 表面特性的直接觀測…………………………………………………… 105
 3.4 原子級生長過程………………………………………………………… 108
 3.5 表面過程對OMVPE生長的影響……………………………………… 122
 參考文獻………………………………………………………………………… 126
第四章 源物質………………………………………………………………… 131
 4.1 引言……………………………………………………………………… 131
 4.2 II族源…………………………………………………………………… 140
 4.3 III族有機源…………………………………………………………… 141
 4.4 V 族有機源……………………………………………………………… 147
 4.5 VI族源…………………………………………………………………… 168
 4.6 金屬有機摻雜源………………………………………………………… 173
 參考文獻………………………………………………………………………… 175
第五章 動力學………………………………………………………………… 186
 5.1 背景……………………………………………………………………… 186
 5.2 OMVPE生長過程……………………………………………………… 194
 5.3 單相熱解反應…………………………………………………………… 197
 5.4 多相熱解反應…………………………………………………………… 240
 5.5 有序……………………………………………………………………… 246
 參考文獻……………………………………………………………………… 252
第六章 流體力學與質量輸運……………………………………………… 262
 6.1 引言……………………………………………………………………… 262
 6.2 OMVPE的完全流體力學處理………………………………………… 263
 6.3 邊界層模型……………………………………………………………… 271
 6.4 臥式OMVPE反應室近似分析方法…………………………………… 272
 6.5 反應室設計套用………………………………………………………… 276
 參考文獻……………………………………………………………………… 277
第七章 OMVPE生長過程設計…………………………………………… 279
 7.1 OMVPE生長的綜合模型……………………………………………… 279
 7.2 動力學限制的生長……………………………………………………… 282
 7.3 中等溫度下所有氣壓範圍內的生長過程……………………………… 301
 7.4 高溫區…………………………………………………………………… 306
 7.5 II/VI族化合物的OMVPE生長……………………………………… 307
 7.6 總體工藝過程設計……………………………………………………… 315
 參考文獻………………………………………………………………………… 331
第八章 OMVPE生長的材料……………………………………………… 340
 8.1 GaAs……………………………………………………………………… 340
 8.2 AlGaAs ………………………………………………………………… 352
 8.3 GaInAs,AlInAs和AlGaInAs ………………………………………… 360
 8.4 InP ……………………………………………………………………… 364
 8.5 GaP,GaInP,AlGaInP …………………………………………………… 370
 8.6 As/P合金………………………………………………………………… 375
 8.7 銻化物及其合金………………………………………………………… 380
 8.8 III/V 族氮化物,AlGaInN ……………………………………………… 391
 8.9 III/V 族半導體的選區生長……………………………………………… 398
 8.10 II/VI族半導體………………………………………………………… 399
 8.11 IV 族半導體…………………………………………………………… 404
2 金屬有機物氣相外延(第二版)
 8.12 非半導體材料…………………………………………………………… 405
 參考文獻………………………………………………………………………… 408
第九章 超晶格………………………………………………………………… 426
 9.1 AlGaAs/GaAs…………………………………………………………… 429
 9.2 GaInAs/InP ……………………………………………………………… 434
 9.3 AlGaInP/GaInP ………………………………………………………… 438
 9.4 GaInAs/GaAs …………………………………………………………… 440
 9.5 AlGaInN ………………………………………………………………… 443
 9.6 應變層超晶格…………………………………………………………… 444
 9.7 Si襯底上的GaAs ……………………………………………………… 445
 9.8 SiGe合金………………………………………………………………… 446
 9.9 II/VI化合物……………………………………………………………… 447
 9.10 摻雜超晶格……………………………………………………………… 449
 9.11 原子層外延(ALE)……………………………………………………… 450
 參考文獻………………………………………………………………………… 454
第十章 器件…………………………………………………………………… 462
 10.1 注入式雷射器和LED ………………………………………………… 463
 10.2 光電二極體……………………………………………………………… 479
 10.3 電子開關器件…………………………………………………………… 481
 10.4 太陽能電池……………………………………………………………… 486
 10.5 總結……………………………………………………………………… 488
 參考文獻………………………………………………………………………… 488
文中縮略語……………………………………………………………………… 497
金屬有機源分子符號………………………………………………………… 500
索引……………………………………………………………………………… 502

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