金屬有機化合物氣相外延基礎及套用

內容簡介

金屬有機化合物氣相處延(movpe)技術是製備化合物半導體異質結、低維結構材料，以及生產化合物半導體光電子、微電子器件的重要方法。本書是國內第一本全面系統地介紹movpe的專著，從理論和實踐兩個方面分別論述了該技術的生長系統和原材料特性等實驗基礎、movpe生長熱力學、化學反應動力學和輸運現象等理論基礎。在此基礎上系統介紹了Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體材料生長及其量子阱、量子點等低維結構的movpe生長，以及在光電器件和電子器件方面的套用。書中附有大量參考文獻，以便讀者進一步參考。本書可供從事半導體科研和生產的科研人員、大專院校教師和研究生使用。

圖書目錄

前言

第1章緒論

1.1外延生長

1.2movpe概述

參考文獻

第2章movpe生長系統

2.1movpe氣體輸運分系統

2.2movpe生長反應室分系統

2.3movpe尾氣處理分系統

2.4movpe生長控制裝置分系統

2.5movpe外延層生長的原位監測

參考文獻

第3章原材料

3.1金屬有機化合物源

3.2氫化物源

金屬有機化合物氣相外延基礎及套用

基本介紹

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