金屬有機源

中文名稱	金屬有機源
英文名稱	metalorganic source
定　　義	高純金屬有機化合物材料，是金屬有機化學氣相外延和沉積的原材料。要求具有合適的結構、合適的蒸氣壓、合適的分解溫度和很高的純度。
套用學科	材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），薄膜製備技術（四級學科）