金屬有機源分子束外延

金屬有機源分子束外延即MOMBE，英文全稱為metal organic molecular-beam epitaxy；亦稱作CEB（化學束外延），是在分子束外延（MBE）和金屬有機物化學氣相沉積（MOCVD）的基礎上發展而來的一項外延生長技術。