氣體裂化器

氣體裂化器管用於熱裂化在抵達基板前必須激活的氣體。

gas converter
氣體裂化器管用於熱裂化在抵達基板前必須激活的氣體。氣態源分子束外延磊晶生長（MBE）包括V族氫化物和III族有機金屬氣態源。氣體裂化器具備常見的單個燈絲蒸鍍瓶加熱器用於輻射加熱鉭或PBN裂化管。使用擋板可增強裂化效率。專門設計或製造的用於利用氨-氫交換法生產重水的氨裂化器。該裝置能在大於或等於3MPa（450psi）的壓力下運行。