有機鋁源，指用於金屬有機化合物氣相沉積( nsnc}ln)具有很高揮發性的有機鋁及有機鋁加合物的化合物。
特性
卞要有二甲基鋁[fC'H3)3A1]、三乙基鋁一(幾HS ,} 3A1 ]、三異丁基鋁[ ( C.'.aF-Iy )3A1 ]、二異丁基氫化鋁L }{=aH必z}-11H_、一甲基氫化鋁[ t }H.s ) zA1H ]、二甲基氫化鋁二甲胺加合物二(C:I-3.s)z}llf-IUlt,H3)a]、氣乙基氫化鋁三甲胺加合物[( CxHs ) x}H L CHs ) 3N ]、三乙胺鋁烷[ A1H3N } C;H} ) 3 ]。主要用十MCIC 1'L)生長AlC'raAs, A1GaInP.用作高速光電和數字器件
