低壓金屬有機化合物氣相外延是2011年公布的材料科學技術名詞。
| 中文名稱 | 低壓金屬有機化合物氣相外延 |
| 英文名稱 | low pressure metalorganic vapor phase epitaxy，LP-MOVP |
| 定 義 | 在小於100Pa的壓力下，進行金屬有機化合物氣相外延的工藝。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科） |
基本介紹
- 中文名：低壓金屬有機化合物氣相外延
- 外文名：low pressure metalorganic vapor phase epitaxy，LP-MOVP
- 所屬學科：材料科學技術
- 公布年度：2011年
定義,出處,
定義
在小於100Pa的壓力下，進行金屬有機化合物氣相外延的工藝。
出處
《材料科學技術名詞》。
