等離子增強金屬有機化合物氣相外延是2011年公布的材料科學技術名詞。
| 中文名稱 | 等離子增強金屬有機化合物氣相外延 |
| 英文名稱 | plasma enhanced metalorganic vapor phase epitaxy，PE-MOVPE |
| 定 義 | 利用電漿促進化學反應、降低反應溫度的金屬有機化合物氣相外延。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科） |
等離子增強金屬有機化合物氣相外延是2011年公布的材料科學技術名詞。定義利用電漿促進化學反應、降低反應溫度的金屬有機化合物氣相外延。出處《材料科學技術名詞》。...
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7.2.2 分子束外延生長的薄膜 （381）7.2.3 分子束外延設備 （383）7.2.4 離化團粒束外延生長 （389）7.3 金屬有機化合物氣相外延生長 （391）7.3.1 概述 （391）7.3.2 選擇式金屬有機化合物氣相外延晶體生長技術 （393）7.4 雷射化學氣相外延生長 （396）參考文獻 （397）第8章 微納加工中的...
