中文名稱 | 常壓金屬有機化合物氣相外延 |
英文名稱 | atmosphere pressure metalorganic vapor phase epitaxy |
定 義 | 在常壓條件下,利用金屬有機化合物的分解和化合,在半導體單晶襯底上沿確定的晶向生長單晶薄層的工藝。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),半導體材料製備(三級學科) |
中文名稱 | 常壓金屬有機化合物氣相外延 |
英文名稱 | atmosphere pressure metalorganic vapor phase epitaxy |
定 義 | 在常壓條件下,利用金屬有機化合物的分解和化合,在半導體單晶襯底上沿確定的晶向生長單晶薄層的工藝。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),半導體材料製備(三級學科) |