常壓金屬有機化合物氣相外延

中文名稱常壓金屬有機化合物氣相外延
英文名稱atmosphere pressure metalorganic vapor phase epitaxy
定  義在常壓條件下,利用金屬有機化合物的分解和化合,在半導體單晶襯底上沿確定的晶向生長單晶薄層的工藝。
套用學科材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),半導體材料製備(三級學科)

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