超高真空電子槍

超高真空電子槍是一種用於電子與通信技術領域的科學儀器，於2019年11月18日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高真空電子槍
• 產地：美國
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2019年11月18日

技術指標

功率大於7kw、最大電壓10kV、高壓範圍5kV-9kV、坩堝容積15cc、坩堝數量4個、頻率解析度±0.03 MHz at 6 MHz、測量間隔0.10 s?、存儲薄膜記憶體大於10種、製冷功率大於5kW、蒸發源漏率小於10-8Pa.L/S。

主要功能

超高真空電子束蒸發源。