超高真空複合鍍膜系統

超高真空複合鍍膜系統是一種用於物理學、天文學、信息與系統科學相關工程與技術領域的工藝試驗儀器，於2014年9月29日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高真空複合鍍膜系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、天文學、信息與系統科學相關工程與技術
• 啟用日期：2014年9月29日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

最高真空達到10-8Pa，可以進行蒸發鍍膜和磁控濺射鍍膜以及退火處理等實驗。

主要功能

可以進行熱蒸發鍍膜和磁控濺射鍍膜以及退火處理等實驗。