自摻雜效應是指由於熱蒸發或者化學反應的副產物對襯底的腐蝕，使襯底中的矽和雜質進入氣相，改變了氣相中的摻雜成分和濃度，從而導致了外延層中的雜質實際分布偏離理想情況。
自摻雜效應
自摻雜效應是指由於熱蒸發或者化學反應的副產物對襯底的腐蝕，使襯底中的矽和雜質進入氣相，改變了氣相中的摻雜成分和濃度，從而導致了外延層中的雜質實際分布偏離理想情況。
自摻雜效應是指由於熱蒸發或者化學反應的副產物對襯底的腐蝕,使襯底中的矽和雜質進入氣相,改變了氣相中的摻雜成分和濃度,從而導致了外延層中的雜質實際分布偏離理想...
他還發現某些雷射二極體呈現的反常雙向負阻行為,提出是由於製備工藝熱過程帶來的自摻雜效應導致的反向結引入造成的。根據這一思路,後來成功地發展了一種新型pnpn雙向...
此法可減少自摻雜效應、縮小過渡層厚度、改善外延層的厚度與電阻率的均勻性、減輕或排除埋層圖形的漂移 [2] 。減壓外延使用要求 編輯 ...
8.7 矽外延自摻雜效應及控制 8.8 矽外延片滑移線產生及消除技術 8.9 矽外延生長的工藝最佳化——反向補償法 參考文獻 9 金屬化處理技術 9.1 化學氣相沉積金屬過程...
通過計算發現參雜氧化物體系中雜質的局域效應—鍵合效應、廣義效應—價態效應和CeO2體系的自摻雜效應(J. Phys. Chem. C 2011, 115, 17898);通過計算在CeO2...