結構的損傷積累

《結構的損傷積累》是依託同濟大學，由余安東擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

• 中文名：結構的損傷積累
• 項目類別：面上項目
• 項目負責人：余安東
• 依託單位：同濟大學
• 批准號：58870350
• 申請代碼：E10
• 負責人職稱：副教授
• 研究期限：1989-01-01 至 1991-07-01
• 支持經費：4（萬元）

中文摘要

本課題建立了電化學自停止各向異性腐蝕、反應離子刻蝕、雙面光刻等微電子機械加工工藝開展了敏感機理、結構設計的研究，研製出集氣敏、溫敏、加熱元件於一體的微結構氣敏感測器。該器件是採用Pt濺射薄膜Pt-Ni過渡層、Lift-off剝離技術來製作加熱電阻、叉指電極和測溫元件；採用Si3N4/SiO2/Si3N4多層薄膜作為絕緣層和支撐層，解決了應力和絕緣兩大難題；採用溶膠凝膠法製法備WO3薄膜、採用反應濺射法製備SnO2-CuO氣敏薄膜，製備出對硫化氫氣體高靈敏高選擇性的薄膜並進行結構分析以及與微電子工藝兼容性研究，器件功耗小於100mW，可分辨1ppm。發表論文13篇，專利1項，超額完成指標。為其他微結構感測器研究打下良好的基礎。