納米圖形發生系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2010年9月15日啟用。
基本介紹
- 中文名：納米圖形發生系統
- 產地：德國
- 學科領域：物理學、材料科學
- 啟用日期：2010年9月15日
- 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備
技術指標,主要功能,
技術指標
步長1nm。
主要功能
光刻樣品。
納米圖形發生系統
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