納米通用圖形發生器是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2017年1月9日啟用。
基本介紹
- 中文名：納米通用圖形發生器
- 產地：中國
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2017年1月9日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子探針
技術指標,主要功能,
技術指標
作圖方式矢量掃描作圖精度採用16位高精度D/A曝光速度圖形發生器控制速度10MHz工件台移動範圍50mm×50mm工件台測量精度60nm（光柵測量）工件台最大移動速度25mm/s曝光範圍20mm×20mm最小線寬≤70nm（W燈絲）圖形拼接精度120nm多場圖形套刻精度120nm。
主要功能
DY-2000A型納米通用圖形發生器是納米加工的重要裝備，與掃描電子顯微鏡(FESEM)結合使用，構建成納米加工的重要設備，進行納米圖形加工和納米微結構製造。
