多用途納米圖形製作系統

多用途納米圖形製作系統是一種用於材料科學領域的科學儀器，於2015年1月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：多用途納米圖形製作系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2015年1月28日

技術指標

極限真空度：4.0x10-5 Pa；泄漏率：5x10-7 PaL/S；工作模式：磁控濺射，蒸發、電子束蒸發。

主要功能

進行電極（金、鉑）蒸鍍；陶瓷薄膜濺射。