積體電路製造工藝技術體系

積體電路製造工藝技術體系

《積體電路製造工藝技術體系》是2016年科學出版社出版的圖書,作者是嚴利人、周衛。

基本介紹

  • 中文名:積體電路製造工藝技術體系
  • 作者:嚴利人、周衛
  • ISBN:9787030501578
  • 類別:電子與通信技術
  • 出版社:科學出版社
  • 出版時間:2016-10
內容簡介,圖書目錄,

內容簡介

本書從三個方面系統地論述積體電路的製造蜜棵技術。首先是製造對象,對工藝結構及結構所對應的電子器件特性進行深人的分析與揭示。其次是生產製造本身,詳細討論積體電路各單步作用的本質性特徵及各不同工藝技術在成套流程中的作用,討論高端製造的組織、調度和邀芝阿管理,工罪采埋藝流程的監控,工藝效果分析乃灶府與診恥灶微斷等內容。最後是支撐整罪霉請半導體製造的設備設施,該部分的論述比較簡明,但是也從整體和系統的角度突出祖槳束檔了製造設備的若干要素。

圖書目錄

第1章IC製造的技術特點與發展趨勢
第2章半導體器件與工藝結構
第3章IC製造單項工藝技術
第4章IC製造工藝原理
第5章IC製造工藝設備
第6章IC製造的實施與最佳化
參考文獻
附錄多晶發射極NPN電晶體工藝仿真代碼

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