積體電路製造工藝

《積體電路製造工藝》是2007年電子工業出版社出版的圖書，該書作者是史小波。

基本介紹

• 書名：積體電路製造工藝
• 作者：史小波
• ISBN：9787121049705
• 定價：18.00元
• 出版社：電子工業出版社
• 出版時間：2007年09月
• 開本：16開

內容提要

本書可作為高職高專微電子及電子信息類專業的教學用書，也可作為有關技術人員學習積體電路製造工藝的參考資料。本書共8章，介紹了積體電路的基本概念和背景知識，系統介紹了半導體材料、矽平面工藝流程、封裝測試等內容。本書力求通俗易懂，突出實用性和可操作性，重點放在基本概念和基本方法的講解上，並配有大量圖片，同時針對初學者易出現的問題進行重點講解。

目錄

第1章　概述

第2章　半導體材料

第3章　矽平面工藝流程

第4章　薄膜的製備

第5章　光刻技術

第6章　摻雜技術

第7章　金屬化與平坦化

第8章　晶片封裝與裝配技術

附錄A　術語表

參考文獻