積體電路氧化工藝的設計與驗證是廣東工業大學建設的虛擬仿真實驗課程。
基本介紹
- 中文名：積體電路氧化工藝的設計與驗證
- 課程負責人：胡永俊
- 建設院校：廣東工業大學
- 授課教師：何玉定、舒暢、招瑜、蔡偉通
課程性質,教學目標,
課程性質
課程背景
我國積體電路產業在先進工藝、裝備材料和設計、EDA（電子設計自動化）軟體等產業鏈的三大環節被“卡脖子”。根據《中國積體電路產業人才白皮書（2019-2020年版）》顯示，我國積體電路人才在供給總量上仍顯不足，到2022年，晶片專業人才缺口預計超過20萬人。2016年，教育部等七部門聯合發布“教育部等七部門關於加強積體電路人才培養的意見”，要求高校和職業院校根據構建“晶片、軟體、整機、系統、信息服務”產業鏈的要求，加快培養積體電路設計、製造、封裝測試及其裝備、材料等方向的專業人才，為積體電路產業發展提供人才和智力支撐。
積體電路的製備過程需要高潔淨實驗室，儀器設備體積大，時間長。例如，完成一次標準的矽材料PN結的製作，整個工藝流程需要一整天的時間，對於基礎教學來說，難以讓每位同學都能夠有充分的時間進行充分的訓練，影響了教學和實踐的效果。因此建設積體電路製備工藝的虛擬仿真實驗具有重要的必要性。
教學目標
學生通過開展本虛擬仿真實驗，掌握積體電路製造用矽片的表面熱氧化工藝原理、氧化工藝參數設計，熟悉熱氧化工藝流程及其影響氧化層質量的因素。熟練掌握實驗方案的科學設計方法；對實驗結果進行科學分析，探索工藝參數對性能影響的主次關係及變化規律，建立預測系統，提升相關知識與技能。
