氬離子拋光儀

氬離子拋光儀是一種用於工程與技術科學基礎學科、材料科學、礦山工程技術、機械工程領域的分析儀器，於2016年10月26日啟用。

基本介紹

• 中文名：氬離子拋光儀
• 產地：美國
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科、材料科學、礦山工程技術、機械工程
• 啟用日期：2016年10月26日
• 所屬類別：分析儀器 > 樣品前處理及製備儀器

技術指標

減薄角度：+10o到-10o；離子槍束能量：0.1KeV~8 KeV；離子槍：雙束聚焦離子槍，無耗件；樣品交換：樣品快速更換

主要功能

大面積表面拋光，多層截面樣品表面拋光，複合材料以及半導體、不導電樣品的SEM樣品製備。