氬離子截面拋光儀

氬離子截面拋光儀

氬離子截面拋光儀是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2015年11月18日啟用。

基本介紹

  • 中文名:氬離子截面拋光儀
  • 產地:德國
  • 學科領域:材料科學
  • 啟用日期:2015年11月18日
  • 所屬類別:工藝試驗儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

兩把離子槍:加速電壓0.8kv-10kv可調,研磨速率:Cu:40um/h(8kv,3mA)單把離子槍30°照射角;SEM平面研磨樣品台最大樣品尺寸Φ25mm×12mm,SEM平面樣品台離子研磨區域:最大Φ25mm,TEM和FIB樣品台樣品尺寸Φ3mm或者Φ2.3mm。

主要功能

樣品離子減薄用於TEM制樣或TKD實驗;樣品平面拋光用於SEM實驗。

相關詞條

熱門詞條

聯絡我們