晶體原生凹坑是在晶體生長中引入的一個或一些小凹坑。當它們與矽片表面相交時,類似局部光散射體,在一些情況下它們的作用與顆粒缺陷相似。
中文名稱 | 晶體原生凹坑 |
英文名稱 | crystal originated pit,COP |
定 義 | 在晶體生長中引入的一個或一些小凹坑。當它們與矽片表面相交時,類似局部光散射體,在一些情況下它們的作用與顆粒缺陷相似。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),元素半導體材料(三級學科) |
- 套用學科
- 材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),元素半導體材料(三級學科)