新穎微波介質陶瓷薄膜的研究

新穎微波介質陶瓷薄膜的研究

《新穎微波介質陶瓷薄膜的研究》是依託浙江大學,由王德苗擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:新穎微波介質陶瓷薄膜的研究
  • 依託單位:浙江大學
  • 項目負責人:王德苗
  • 項目類別:面上項目
  • 批准號:50172042
  • 申請代碼:E0206
  • 負責人職稱:教授
  • 研究期限:2002-01-01 至 2004-12-31
  • 支持經費:21(萬元)
項目摘要
BAO-TIO2體系改性微波介質陶瓷具有優良的微波特性。本課題提出用這類材料製備新穎的微波積體電路用陶瓷薄膜。分析離子轉換摻雜對薄膜的微波介電特性的影響,探討薄膜在微波段的極化與損耗機理,研究多靶共濺摻雜法低溫沉積高品質陶瓷薄膜的技術途徑。同時探討其微波原型器件的可行性。為開發下一代薄膜微波電路提供理論基礎和實驗依據。

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