微電子製造原理與工藝

《微電子製造原理與工藝》是2020年哈爾濱工業大學出版社出版的圖書。

基本介紹

• 中文名：微電子製造原理與工藝
• 作者：張威,李宇傑,劉威
• 出版社：哈爾濱工業大學出版社
• 出版時間：2020年12月1日
• 頁數：314 頁
• 開本：16 開
• 裝幀：平裝
• ISBN：9787560390567

內容簡介

本書是一部英文版的數學專著，中文書名可譯為《套用數學：理論、方法與實踐》。

本書的內容相當廣泛甚至有些龐雜，但都是工程技術人員經常使用的數學工具。從單純形法到有限元；從零和博弈到馬爾科夫鏈。數學也是由淺入深，從分數、小數這些國小內容一直到巴拿赫空間和廣義偏微分方程。

圖書目錄

目錄

第1章 緒論

1.1 微電子製造的基本概念

1.2 微電子製造技術的發展歷史

1.3微電子製造技術的發展趨勢

1.4本書的內容安排

第2章 矽襯底

2.1 單晶矽特性

2.2 矽片的製備

第3章 氧化與摻雜

3.1 熱氧化

3.2熱擴散

3.3離子注入

第4章 圖形轉移

4.1光刻

4.2刻蝕

第5章 薄膜製備

5.1物理氣相澱積

5.2化學氣相澱積

5.3外延

第6章 工藝集成

6.1 MOS器件簡介

6.2 CMOS工藝技術

6.3 CMOS工藝流程

第7章 監控與測試

7.1 工藝監控

7.2 測試技術

文考文獻