微電子機械加工系統技術基礎

《微電子機械加工系統技術基礎》是2009年冶金工業出版社出版的圖書，作者是孫以材。

基本介紹

• 書名：微電子機械加工系統技術基礎
• 作者：孫以材
• ISBN：9787502447946
• 定價：26.00 元
• 出版社： 冶金工業出版社
• 出版時間：2009年03月
• 開本：16開

內容簡介

《微電子機械加工系統(MEMS)技術基礎》還詳細介紹了電學，熱學和力學有限元方法的要領，相關軟體的使用及矽片的加工處理方法。閱讀《微電子機械加工系統(MEMS)技術基礎》，可以為MEMS元件的設計和製造打下較好的基礎，從而可以靈活套用所學知識。MEMS技術是21世紀發展的重大技術，涉及國防、航天、醫療等領域。《微電子機械加工系統(MEMS)技術基礎》以各種微型閥、微型泵、微型馬達、壓電元器件的製造為目的，闡述其功能，所依據的物理原理及定律。

《微電子機械加工系統(MEMS)技術基礎》可供國防、航天、醫療等專業的技術人員閱讀，也可供大專院校有關專業師生參考。

圖書目錄

1 靜電場數值計算有限元方法

2 應力場數值計算有限元方法

3 矽MEMS元件的化學腐蝕微機械加工

4 MEMS系統的封裝

5 微電子機械元件的引線

6 MEMS元件的製作

參考文獻

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