《微細加工技術》是1983年科學出版社出版的圖書。
三束微細加工技術即通過電子束、離子束、光子束（雷射、x射線）對待加工材料表面進行轟擊（曝光）處理進而在亞微米、納米尺度達到表面改性、刻蝕、表面摻雜改性、薄膜沉積等加工效果的加工技術。這種技術廣泛套用於微電子器件加工、積體電路製造、微細圖案刻蝕、離子注入摻雜、薄膜的沉積等加工與表面改性領域。
《微細加工技術》是2005年國防工業出版社出版的圖書，作者是王振龍。內容簡介 本書針對製造技術的最新進展與需求，以微米尺度零件的加工為主線，力求使讀者能較為準確地理解和掌握微機械與微細加工技術的基礎知識和常用微細加工方法的基本原理及套用。主要內容包括：微型機械與微細加工的基礎知識；微細切削加工;；半導體...
典型微細電解加工技術 電解加工是利用金屬在電解液中發生電化學陽極溶解的原理對材料進行腐蝕成形的加工方法 。從加工機理上看 , 工件陽極上的金屬原子在加工中不斷地失去電子成為離子而從工件上溶解 , 其材料的減少過程以離子的形式進行 , 這種微離子去除方式使電解加工具有微細加工能力 。又因為電解加工過程中工具...
《微細加工技術》是1983年科學出版社出版的圖書。內容簡介 本書介紹了一些加工難度大、精度要求高的零件的微細加工技術同時還論述了微細加工技術在生產中的作用，介紹了十七種微細加工技術的原理、特點及當前的套用水平，並列出了多種電子設備的關鍵零件及精密機械、儀器儀表、光學元件、醫療器械零件的微細加工實例．...
隨著半導體技術的發展，光刻技術傳遞圖形的尺寸限度縮小了2～3個數量級（從毫米級到亞微米級），已從常規光學技術發展到套用電子束、 X射線、微離子束、雷射等新技術；使用波長已從4000埃擴展到 0.1埃數量級範圍。光刻技術成為一種精密的微細加工技術。簡述 光刻技術是指在光照作用下，藉助光致抗蝕劑（又名光...
準分子雷射微細加工技術是利用準分子雷射器進行加工工藝，準分子雷射器能夠發射各種不同的特別是紫外譜波段雷射(到已實現雷射振盪的雷射器，除少數XeO,KrO,ArO 等準分子產生綠帶雷射振盪外，輸出波長多分布在紫外、遠紫外和真空紫外波段,因此準分子雷射器常被稱作紫外雷射器)，同時在發射短波長時能保持最佳的轉換效率,...
電子束與離子束微細加工是指通過具有一定能量的電子束、離子束與固體表面相互作用來改變固體表面物理、化學性質和幾何結構的精密加工技術。用具有一定能量的電子束照射抗蝕劑，經顯影后在抗蝕劑中產生圖形的一種微細加工技術。介紹 通過具有一定能量的電子束、離子束與固體表面相互作用來改變固體表面物理、化學性質和...
《微細加工與微納加工技術及套用》是2021年化學工業出版社出版的圖書，作者是趙波、李伯民、李清。內容簡介 微細加工與微納加工技術是當前發展*快的技術之一，已廣泛套用於機械、微電子、材料、機電、化工、能源、航空航天、通信、生物技術、醫療衛生、軍事等領域。本書綜合了近年來機械微加工和微納加工領域的國內外...
本項目融合水射流和雷射加工技術於一體，創建一種新的雷射輔助水射流近無損傷微細加工技術及系統，採用雷射加熱並軟化工件材料、水射流驅除及冷卻的耦合效應去除材料，用於微細結構的高效、低成本、高質量、近無損傷微細加工，並對其基礎理論進行系統研究。該技術能夠對水射流束和雷射束分別進行獨立控制，實現水射流束和...
具有耐磨、耐蝕、耐高溫高壓的硬脆性材料，在微機電系統有著廣泛的套用前景。正是這些優異的特性造成材料的難加工性，使其高精度微細加工技術成為新的挑戰。本項目針對微細超音波加工硬脆性材料中存在的問題進行基礎研究。研究重點是工件材料去除機理、工件表面形成機理、微細工具的損耗機理和微細工具在加工中的動態特性...
開發出主動控制微細加工零件棱邊（毛刺）的技術、工藝和方法；基於VB.Net構建微細銑削毛刺專家知識系統，為實現微小型構件加工過程自動化提供技術支撐；進而，初步創立微細加工毛刺形成與控制理論，進一步豐富和發展金屬切削理論，對促進超精密加工、高速加工和其它自動化加工技術發展具有重要科學意義和廣闊套用前景。
《微機電系統與微細加工技術》是2008年哈爾濱工程大學出版社出版的圖書，作者是雲乃彰，朱荻。內容簡介 《國防科工委“十五”規劃教材：微機電系統與微細加工技術》共分五章，包括微機電系統和微細加工技術的發展趨勢，對微機電系統原理和設計、微細加工技術、相關的檢測技術以及微機電系統的套用等內容進行了介紹和討論...
《微機械與微細加工技術》是2000年西北工業大學出版社出版的圖書，作者是苑偉政、馬炳和。內容簡介 內容簡介：微機械被譽為21世紀最具代表性的技術之一。《微機械與微細加工技術》共分8章，結合作者近年來的研究工作，系統地介紹了微機械學科的起源、發展過程及當前國內外該學科的研究內容與成果，內容包括微機械理論...
《用雷射輔助微細加工技術製作單片OEICs》是依託電子科技大學,由葉玉堂擔任醒目負責人的面上項目。項目摘要 本項目擬採用新穎的雷射微細加工技術製作單片OEIC，利用其低溫處理，直接寫入等獨特優勢，可將同一基片上難以兼容的電、光兩部分先後製做，且後一步製做光器件時不會對該基片上已做成的器件產生負面影響，因而...
傳統的微型零件製造工藝，如IC工藝和LIGA技術等，無法滿足實際生產中對加工材料的種類和生產效率的需要，從而促進了微型零件製造新工藝的發展，微塑性成形技術就是其中最重要的加工工藝之一。微型零件的加工技術在MEMS和微系統等技術中占有重要地位。現有的微細加工技術是在微電子積體電路工藝（IC）的基礎上發展起來的，...
國防科技工業微細結構加工技術研究套用中心2007年正式成立，中心實驗室現有儀器設備數總計277台（套），包括最高轉速精密微小型車銑複合中心、數控萬能複合加工工具機，微小型系統超高轉速加速度實驗系統等。 研究方向 主要開展用傳統加工方法無法實現的、尺度從微米級到厘米級的三維結構及系統的加工、檢測、裝配工藝方法與...
今後的微細加工方向，將是對這些裝置進行改良，開發分辨能力更高的抗蝕劑，以及採用能看到原子的掃描隧道顯微鏡STM和場離子顯微鏡FIM等。分類 目前出現了多種新的微細加工技術，其中具有代表性的有以下幾種：LIGA （Lithograthie Galvanoformung Abformung）技術是X射線深層光刻、微電鑄和微塑鑄三個工藝的組合。該...
《基於非接觸給電的高速微細電火花銑削加工技術研究》是依託哈爾濱工業大學，由楊曉冬擔任項目負責人的面上項目。項目摘要 提高微細電火花加工效率的前提是保證放電狀態穩定，因此普遍採用電極旋轉方法。但對於微小電極，只有大幅度提高電極轉速才能有效提高電極的圓周運動線速度，從而明顯促進放電點分散，抑制電極表面溫度...
《微納光電子器件功能集成和微細加工技術研究》是依託中山大學，由李寶軍擔任項目負責人的重大研究計畫。中文摘要 微結構光電子器件功能集成和微細加工技術是21世紀的研究重點，而納米光子學又是微結構光電子器件研究中的幾個熱點之一。如何將納米光子器件和微米量級光電子器件集成在一起、並套用於新一代光通信系統中...
本項目針對MEMS部件和醫療器械中大量微尺度金屬結構的製造需求，深入分析目前微細電解加工技術存在的加工效率低、加工穩定性差等問題，結合微細電解加工原理和高速銑削的基本思想，提出微細電解鑽銑削高效加工技術，以實現微尺度金屬結構的高效、精密、低成本製造。課題以顯著提高微細電解加工效率為目標，重點研究微小加工...
《微結構高精密微銑削的動態特性及穩定性研究》是依託蘇州科技大學，由曹自洋擔任項目負責人的青年科學基金項目。項目摘要 微細銑削加工因具有多種材料適應性和可加工複雜三維形狀等優點而在微細加工技術中具有獨特的優勢，但由加工系統引發的動態不穩定現象會明顯降低切削效率和零件的加工質量，降低刀具、工具機的使用壽命...
《陣列微縫結構多線微細電解線切割加工技術基礎研究》是依託南京航空航天大學，由曾永彬擔任項目負責人的面上項目。項目摘要 難加工金屬材料陣列微縫是高新科技產品中經常涉及到的結構類型，其製造難度極大。微細電解線切割加工技術特別適合製造這類結構，但要滿足製造需求，必須大幅提高其加工效率。本項目根據微細電解線...
研究的最終結果是提出系統性的難加工合金材料的微細電火花加工新方法，推動微細電火花技術的發展，並通過國際交流和論文發表，使我國在微細電火花加工領域占據領先地位。結題摘要 本項目針對微細電火花氣中放電加工過程不穩定問題，提出了採用冷等離子射流為介質進行放電加工的新方法。研究結果表明電極間的擊穿距離增加，...
，建立微切削加工理論和技術體系；研究多尺度微細切削模擬仿真技術， 奠定微切削加工技術的套用基礎。(3)微切削工藝研究：包括各種新材料如鋼鐵、鈦合金 、不鏽鋼、鋁合金、陶瓷和其它非金屬材料及各種複合材料的微切削加工工藝 ， 微切削 CAD CAM技術 。(4)微切削加工技術的經濟性和可靠性研究。
這是其它微製造技術所無法實現的。LIGA技術被視為微納米製造技術中最有生命力、最有前途的加工技術。利用LIGA技術，不僅可製造微納尺度結構，而且還能加工尺度為毫米級的Meso結構。產品特點 與其它微細加工方法相比，LIGA技術具有如下特點：(1)可製造較大高寬比的結構；(2)取材廣泛，可以是金屬、陶瓷、聚合物、玻璃...
在傳統光學光刻技術逼近工藝極限的情況下，電子束光刻技術將有可能出現在與目前193i為代表的光學曝光技術及EUV技術相匹配的混合光刻中，在實現10nm級光刻中起重要的作用。應該提到的是電子束曝光技術是推動微電子技術和微細加工技術進一步發展的關鍵技術，在微電子、微光學和微機械等微系統微細加工領域有著廣泛的套用...
所有的 14 種布拉伐格子的周期性晶格結構都可以由多光束干涉實現, 但是對於進行納米尺度任意複雜三維結構的加工, 單光子平面曝光及多光束干涉都無能為力. 飛秒脈衝雷射雙光子微納加工技術是集超快雷射技術、顯微技術、超高精度定位技術、三維圖形 CAD 製作技術及光化學材料技術於一體的新型超微細加工技術, 具有簡單...
silicon micromachining 微加工技術 ; 微加工 ; 微機械加工 Micromachining Technologies 加工技術 micromachining processing 矽微機械加工 o Micromachining 顯微機械加工 tivated micromachining 電子束顯微機械加工 precise micromachining 精細微加工 bulk micromachining 微加工 ; 加工技術 ; 體微加工 ; 體微細加工 Micromac...
