國防科技工業微細結構加工技術研究套用中心

國防科技工業微細結構加工技術研究套用中心2007年正式成立，中心實驗室現有儀器設備數總計277台（套），包括最高轉速精密微小型車銑複合中心、數控萬能複合加工工具機，微小型系統超高轉速加速度實驗系統等。

基本介紹

• 中文名：國防科技工業微細結構加工技術研究套用中心
• 主管部門：北京理工大學

研究方向

主要開展用傳統加工方法無法實現的、尺度從微米級到厘米級的三維結構及系統的加工、檢測、裝配工藝方法與裝備的工程化開發和技術推廣。

科研條件

國防科技工業微細結構加工技術研究套用中心擁有的典型試驗設備如下：

1. 局部可重配置微小型車銑複合加工中心

國防科技工業微細結構加工技術研究套用中心具有部分模組可重配置、動態空間軟限位以及系統精度補償等功能，主要技術指標包括：直線軸定位精度2μm，C軸和轉台定位精度0.002度；工件主軸（車削主軸）轉速8000r/min，刀具主軸（銑削主軸）轉速60000r/min；加工精度IT7，銑 削表面粗糙度0.3μm（圖1）。

2.增減材複合加工工具機

針對增材製造過程的缺陷、凝固等問題，複合加工過程的相互影響關係及其對構件內部質量、巨觀結構精度的作用，中心研發了基於脈衝雷射送絲沉積的增減材複合加工工具機（圖2），可加工構件最小寬度可達0.5mm。

3.高精度對位檢測儀

高精密對位檢測系統（圖3）主要由視覺檢測子系統、裝配執行子系統、輔助子系統和控制子系統組成，檢測精度達到亞微米級，微夾持器組件採用了真空吸附和氣囊式的無損夾持方式，對裝配過程進行智慧型化的設計，使其具備一定的自判斷操作能力。設備主要技術指標包括：光學對位解析度：0.5μm；裝配零件對準精度：0.5μm；裝配零件尺度範圍：10μm～10mm；六維力感測器解析度：3mN，0.016N·mm；基於微力-微變形的對位檢測解析度：100nm；六自由度微動平台移動解析度：33nm；實際能夠完成尺度範圍：10μm～100mm。

4.微小零件柔性自動化裝配系統

國防科技工業微細結構加工技術研究套用中心自主研發的微小零件柔性自動化裝配系統具備多工位控制、可靠夾持與輸送、裝配質量在位檢測、模組化控制等功能，對位精度達到2μm、裝配精度達到5μm，具有柔性化、多功能、跨尺度特點，適用於非矽MEMS器件精密裝配。