哈爾濱工業大學微納米技術研究中心

微系統與微結構製造教育部重點實驗室成立於2006年，隸屬於國家教育部，該重點實驗室以哈爾濱工業大學機械電子工程、機械製造及其自動化、材料加工、精密儀器及機械等4個國家級重點學科為主要依託，以微電子與固體物理、化學、物理學等學科為基礎，在哈爾濱工業大學微納米技術研究中心進行建設。

基本介紹

• 中文名：哈爾濱工業大學微納米技術研究中心
• 外文名：Key laboratory of Micro-systems and Micro-structures Manufacturing, Ministry of Education
• 隸屬：哈爾濱工業大學
• 研究員：45名
• 實驗室：4000平方米
• 實驗室主任：王振龍教授
• 學術主任：蔡鶴皋院士
• 地址：哈工大科學園B1棟
• 郵編：150080
• 成立時間：2006年

實驗室簡介

微系統與微結構製造教育部重點實驗室成立於2006年，2009年7月通過建設驗收。實驗室以微系統與微結構為研究對象，以機械製造及其自動化、機械電子工程、材料加工工程、精密儀器及機械等4個國家級重點學科為主要依託，以微電子與固體物理、化學、物理學等學科為基礎，通過多學科交叉與融合，建設和完善了微納米製造理論與方法、微系統與微結構設計、微結構加工技術、微納米技術裝備、微成形與微連線技術、納米材料製備表征與套用等若干研究方向。

實驗室擁有科研用房面積4000餘平方米，儀器設備300餘台，設備總值6000餘萬元。現有千人計畫教授1名，長江學者5名，國家傑出青年基金獲得者3名，國家優秀青年基金獲得者2名，國家重大基礎研究計畫首席科學家1名，教育部新世紀優秀人才14名，黑龍江省傑出青年基金獲得者8名，教育部創新團隊1個。2007-2012年間，承擔微納米技術研究方向科研項目259項、總經費2億餘元；獲國家技術發明二等獎2項，省部級一等獎6項，二等獎5項；發表學術論文719篇，獲國家發明專利112項；獲全國優秀博士學位論文獎1項，提名獎4項。

師資力量

實驗室現有專職教師和研究人員45名，其中有教授26人（博導22人），副教授8人，講師（助理研究員）11人。目前實驗室擁有科研用房面積4000 m²、儀器設備總值3000餘萬元。

實驗室領導

主任：王振龍教授

副主任：劉紹琴教授，單德彬教授，劉曉為教授

學術委員會

主任委員：蔡鶴皋

副主任委員：譚建榮

委員：（按音序排列）
郭斌梁迎春 劉勝 孫立寧 王躍林 楊 輝 尤政張之敬

研究方向

實驗室以微結構與微系統為研究對象，瞄準國際學科前沿，立足國防建設，面向國民經濟主戰場，圍繞我國製造業發展中的重大科技問題，通過多學科交叉與融合，建設和完善了微納製造技術、納米科技、微納系統集成等若干研究領域。微納製造技術研究領域下設微塑性成形、微鑄造成形，微注射成形、SPM加工、微細特種加工、微連線等若干研究方向。納米科技研究領域下設納米材料、納米生物、納米器件、納米醫學、納米能源和納米表征等若干重要基礎與套用研究方向。

儀器設備

實驗室擁有各種大型先進儀器設備40餘台，為各學科方向搭建了微系統與微結構加工、測試與表征研究平台，包括由微衝壓系統、微塑性成型系統、微塑性拉伸試驗機、微注射成型機等組成的微納加工平台；由離子束刻蝕系統、原子層沉積系統、電阻蒸發鍍膜機、可變轉速比率的行星式高能球磨機等組成的材料製備平台；由場發射掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡、掃描探針顯微鏡、徠卡熱台偏光顯微鏡、HJY螢光分光光譜儀、熱分析儀等組成的材料表征平台；另外，生物醫學平台和能源環境平台正在建設中。

教學成果

實驗室現有長江學者3名（程凱、孫立寧、Nicholas A. Kotov）；國家傑出青年基金獲得者6名（程凱、孫立寧、沈軍、高明遠、唐智勇、蔣興宇）；黑龍江省傑出青年基金獲得者7名（郭斌、梁迎春、單德彬、孫秀冬、甄良、沈軍、王鈾）；新世紀優秀人才9名（孫秀冬、單德彬、王鈾、沈軍、陳明君、榮偉彬、雷聖賓、劉紹琴、胡平安）；承擔微納米技術研究方向科研項目60餘項、總經費7,900餘萬元；獲國家技術發明二等獎1項，教育部自然科學一等獎1項，黑龍江省技術發明一等獎1項；培育並建成了“精密與微納製造國防緊缺學科”，完成了哈工大微系統與微結構製造技術研究從無序到有序、從散兵突擊到集團作戰的戰略轉變，形成了特色鮮明的微系統與微結構製造技術研究和人才培養基地。

科研成果

主要科研成果如下

序號	獎勵類別	獎勵名稱	第一完成人	授權單位	獎勵時間
1	國家技術發明二等獎	納米級精密定位及微操作機器人關鍵技術	榮偉斌（2）	中華人民共和國國務院	2007
2	國家技術發明二等獎	微型構件微成形技術與裝備	單德彬	中華人民共和國國務院	2012
	黑龍江省科學技術獎一等獎（發明）			黑龍江省人民政府	2010
3	教育部自然科學一等獎	微納米切削加工基礎及相關技術	梁迎春	中華人民共和國教育部	2007
4	中國機械工業科學技術獎一等獎	五軸聯動精密電火花加工技術及裝備	王振龍（4）	中國機械工程學會、中國機械工業聯合會	2011
5	黑龍江省科學技術獎一等獎（自然）	納米機械加工過程建模、仿真理論基礎及其力學行為表征	陳明君	黑龍江省人民政府	2009
6	黑龍江省科學技術獎一等獎（自然）	功能納米材料與原子力顯微鏡表征技術基礎研究	王鈾	黑龍江省人民政府	2009
7	黑龍江省科學技術獎一等獎（發明）	面向MEMS組裝、封裝與鍵合測試的關鍵微操作設備	榮偉斌（4）	黑龍江省人民政府	2007
8	黑龍江省科學技術獎二等獎（自然）	納米複合材料超塑性成形基礎研究	張凱鋒	黑龍江省人民政府	2010
9	黑龍江省科學技術獎二等獎（自然）	精密與微細電加工技術基礎研究	王振龍	黑龍江省人民政府	2010
10	黑龍江省科學技術獎二等獎（自然）	微納光子材料組裝與微納結構中光的傳輸輻射特性研究	孫秀冬	黑龍江省人民政府	2011
11	黑龍江省科學技術獎二等獎（發明）	面向MEMS精密作業的微小型移動機器人	李滿天	黑龍江省人民政府	2009
12	黑龍江省科學技術獎二等獎（發明）	微型直接甲醇燃料電池製造方法關鍵技術研究	劉曉為	黑龍江省人民政府	2010
13	黑龍江省高校科學技術獎一等獎	大塊非晶合金製備過程的基礎科學問題研究	沈軍	黑龍江省教育廳	2009
14	黑龍江省高校科學技術獎一等獎	微連線技術基礎及可靠性研究	王春青	黑龍江省教育廳	2011
15	全國優秀博士學位論文獎	基於AFM的納米加工機理及相關工藝技術研究	閆永達	中華人民共和國教育部國務院學位委員會	2009
16	全國優秀博士學位論文提名獎	高精度金剛石刀具的機械刃磨技術及其切削性能最佳化研究	宗文俊	哈爾濱工業大學	2009
17	全國優秀博士學位論文提名獎	三元金屬氧化物一維納米材料的製備與表征及性能研究	徐成彥	哈爾濱工業大學	2010
18	全國優秀博士學位論文提名獎	無模板法合成無機空心微球及其性能研究	王文壽	哈爾濱工業大學	2012
19	全國優秀博士學位論文提名獎	固液界面納米氣泡與基地相互作用研究及滑移長度測量	王玉亮	哈爾濱工業大學	2012