三束微細加工技術

三束微細加工技術即通過電子束、離子束、光子束（雷射、x射線）對待加工材料表面進行轟擊（曝光）處理進而在亞微米、納米尺度達到表面改性、刻蝕、表面摻雜改性、薄膜沉積等加工效果的加工技術。這種技術廣泛套用於微電子器件加工、積體電路製造、微細圖案刻蝕、離子注入摻雜、薄膜的沉積等加工與表面改性領域。