《微機電系統(MEMS)技術―MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法》是2020年4月1日將要實施的一項中國國家標準。
基本介紹
- 中文名:微機電系統(MEMS)技術―MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法
- 外文名:Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments
- 標準號:GB/T 38341-2019
- 中國標準分類號:L55
《微機電系統(MEMS)技術―MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法》是2020年4月1日將要實施的一項中國國家標準。
全國微機電技術標準化技術委員會 全國微機電技術標準化技術委員會編號TC336,由機械科學研究院中機生產力促進中心籌建,國家標準化管理委員會進行業務指導。相關國標計畫 相關國家標準
微機電系統是集微感測器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等於一體的微型器件或系統。MEMS是一項革命性的新技術,廣泛套用於高新技術產業,是一項關係到國家的科技發展、經濟繁榮和...
第1章 技術突破———微系統到微納米系統 2 1.1 從微電子到微系統 1.2 微系統:納米技術與巨觀領域間的聯繫 12 1.3 自下而上納米技術:納米機電系統的未來 13 1.4 總結和展望 15 致謝 15 參考文獻 15 第2章 MEMS中的高 ...
第一部分論述MEMS材料的可靠性內容及主要表征方法,包括MEMS材料的可靠性,微納壓痕儀,鼓脹測試,彎曲測試,單軸張應力測試,片上測試;第二部分論述MEMS器件的可靠性,包括壓力感測器可靠性,慣性感測器可靠性,RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性。內容...
RF MEMS系統簡介 編輯 播報 射頻微機電系統(RF MEMS) 是MEMS技術的重要套用領域之一,也是二十世紀九十年代以來MEMS領域的研究熱點。RFMEMS用於射頻和微波頻率電路中的信號處理,是一項將能對現有雷達和通訊中射頻結構產生重大影響的技術。
微機電系統(MicroElectroMechanical Systems, MEMS)是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域, 目前它已成為世界矚目的重大科技領域之一。MEMS器件的仿真、設計目前還有不少困難,困難之一是多能量域的耦合。本項目提出採用無...
《微系統》是2021年中國宇航出版社出版的圖書,作者是賈晨陽、王開源 。本書系統地介紹了微系統基本概念、發展背景及主要分類,重點介紹了電子元器件技術、集成技術、算法與架構、熱管理技術等微系統關鍵技術,全面總結了國內外微系統的最新...
磁敏感與執行方法,及其相關的感測器與執行器;第10~11章詳細介紹了微製造中最常用的體微機械加工和表面微機械加工技術,而器件製造方法則插入到實例研究中;第12章討論了工藝技術的綜合套用;第13章介紹了與聚合物有關的MEMS製造技術...
矽片鍵合技術的各種方法、工藝過程及其各自的影響因素,LIGA技術的基本工藝流程和各部分工藝的實現方法;在工藝基礎上介紹感測器和執行器的基本原理、套用範圍及其工藝流程;最後就MEMS在軍事、醫療、汽車方面的套用及對MEMS器件實現檢測的方法...
《用於MEMS微振動及角位移測量的新型光纖感測技術研究》是依託清華大學,由趙勇擔任項目負責人的面上項目。項目摘要 微機電系統(MEMS)測試技術和方法已成為MEMS設計、製造及質量控制和評價的關鍵環節之一。精度高、簡單便捷、成本低的測試...
明確提出要推進微機電系統(MEMS)、智慧型感測器、新型電力電子器件裝備等產業化;在2014年,國務院發布的《國家積體電路產業發展推進綱要》中明確提出,要大力發展微機電系統(MEMS)等特色專用工藝生產線,增強晶片製造綜合能力;由此可見,MEMS...
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[7] 起草完成國家標準GB/T 38341-2019《微機電系統(MEMS)技術 MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法》合作論文 [1] Hu Zhang*, YaWei Li, Enke Liu, Kun Tao, MeiLing Wu, YiXu Wang, HouBo Zhou, YanJun Xue, Chen Cheng, ...
在MEMS設計方面,MEMST(MEMS技術天地)開闢了專項的綜合欄目,涉及到MEMS器件的結構仿真、版圖設計;在MEMS封裝測試方面,提供了傳統的半導體工藝欄目、晶圓級封裝、MEMS真空封裝欄目;並提供最新的納米技術套用等領域。MEMST(MEMS技術天地)...