多功能離子束濺射鍍膜機

多功能離子束濺射鍍膜機是一種用於材料科學、機械工程領域的工藝試驗儀器，於2011年4月22日啟用。

基本介紹

• 中文名：多功能離子束濺射鍍膜機
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學、機械工程
• 啟用日期：2011年4月22日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

兩個濺射離子源+一個輔助沉積離子源+中能離子源。

主要功能

離子束濺射、離子注入。