半導體材料物理與技術

半導體材料物理與技術

《半導體材料物理與技術》是2020年科學出版社出版的圖書,作者是楊建榮,

基本介紹

  • 中文名:半導體材料物理與技術
  • 作者:楊建榮
  • 出版社:科學出版社
  • ISBN:9787030627322
  • 出版時間:2020-01
內容簡介,圖書目錄,

內容簡介

半導體材料是二級學科“微電子與固體電子學”的一個分支學科,《半導體材料物理與技術》將這一分支學科的專業知識劃分為半導體材料概述、物理性能、晶體生長、熱處理、性能測量和工藝基礎技術6個組成部分,通過把分散在眾多教科書、專著和文獻資料中的專業知識系統地納入這一學科體系框架,使之成為一本全面介紹半導體材料物理知識、工藝基本原理和實用化技術的專業書籍。由於篇幅的限制,《半導體材料物理與技術》並未深入涉及物理學基本原理的推導、各種材料的性能參數和各類製備工藝的技術細節,需要時讀者可運用搜尋引擎來獲取相關的內容。

圖書目錄

前言
第1章概述
第2章半導體材料的物理性能
第3章半導體材料的生長
第4章半導體材料的熱處理
第5章半導體材料性能參數的測量
第6章半導體材料製備工藝的基礎技術

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