半導體材料物理與技術

《半導體材料物理與技術》是2020年科學出版社出版的圖書，作者是楊建榮，

基本介紹

• 中文名：半導體材料物理與技術
• 作者：楊建榮
• 出版社：科學出版社
• ISBN：9787030627322
• 出版時間：2020-01

內容簡介

半導體材料是二級學科“微電子與固體電子學”的一個分支學科，《半導體材料物理與技術》將這一分支學科的專業知識劃分為半導體材料概述、物理性能、晶體生長、熱處理、性能測量和工藝基礎技術6個組成部分，通過把分散在眾多教科書、專著和文獻資料中的專業知識系統地納入這一學科體系框架，使之成為一本全面介紹半導體材料物理知識、工藝基本原理和實用化技術的專業書籍。由於篇幅的限制，《半導體材料物理與技術》並未深入涉及物理學基本原理的推導、各種材料的性能參數和各類製備工藝的技術細節，需要時讀者可運用搜尋引擎來獲取相關的內容。

圖書目錄

前言

第1章概述

第2章半導體材料的物理性能

第3章半導體材料的生長

第4章半導體材料的熱處理

第5章半導體材料性能參數的測量

第6章半導體材料製備工藝的基礎技術