《半導體器件 : 物理與工藝》是1992年科學出版社出版的圖書，作者是(美)施敏(S.M.Sze)。
基本介紹
- 中文名：半導體器件 : 物理與工藝
- 作者：(美)施敏(S.M.Sze)
- 出版社：科學出版社
- ISBN：7030026209
- 出版時間：1992-05
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
該書介紹了半導體器件物理與製造工藝的最新進展，是半導體器件物理與工藝方面的入門教材．全書共十二章，可分為三個部分．第一、二章描述了半導體的基本性質及導電過程，重點介紹矽與砷化鎵；第三章至第七章從構成大多數半導體器件的基本結構——p-n結開始，介紹了雙極、單極、微波、光電器件的物理及特性；第八章至第十二章闡述了單晶生長、氧化、薄膜澱積、擴散、離子注入、光刻等器件製造(特別是積體電路製造)的主要工藝步驟的理論與實踐。
該書可作為高等院校半導體、饊電子學、電子工程、套用物理專業師生的教學參考書，也可供相應領域從事實際工作的科研人員、工程技術人員參考。
圖書目錄
目錄
第一章 能帶與載流子濃度
第二章 載流子輸運現象
第三章 p-n結
第四章 雙極型器件
第五章 單極型器件
第六章 微波器件
第七章 光電子器件
第八章 晶體生長與外延
第九章 氧化與薄膜澱積
第十章 擴散與離子注入
第十一章 光刻——圖形曝光與刻蝕
第十二章 集成器件
附錄
索引
