動力學控制過程_中文百科全書

動力學控制過程

在低的壓強下，分子平均自由程接近腔體的寬度。如果這些氣相物質不發生碰撞，那么氣體中各種反應物質通常沒有達到熱平衡，從而也不能達到化學平衡。此外，由於氣體分子具有能量分布，為了使這些氣體能夠達到化學平衡，在單位體積中必須發生大量碰撞。所以，腔體結構長度（如氣體進氣噴口和基座之間距離）至少必須比平均自由程大幾個數量級。一些過程能夠達到平衡，而另一些則不然，這要視所涉及的特定反應方程而定。凡不能達到化學平衡的過程稱為動力學控制的過程（kinetically controlled process）。低壓CVD（化學氣相澱積）是典型地受動力學控制的，而常壓CVD則可能處於平衡。