全自動型電感耦合電漿刻蝕機是一種用於航空、航天科學技術領域的科學儀器，於2011年12月21日啟用。
基本介紹
- 中文名：全自動型電感耦合電漿刻蝕機
- 產地：中國
- 學科領域：航空、航天科學技術
- 啟用日期：2011年12月21日
技術指標,主要功能,
技術指標
低電容耦合線圈設計；電漿增強型PVD特種材料的塗層。
主要功能
電漿刻蝕。
全自動型電感耦合電漿刻蝕機
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