全國半導體設備和材料標準化技術委員會

全國半導體設備和材料標準化技術委員會編號TC203,由國家標準化管理委員會籌建及進行業務指導。

基本介紹

  • 中文名:全國半導體設備和材料標準化技術委員會
  • 外文名:Semiconductor Equipment and Materials
  • 籌建單位:國家標準化管理委員會
  • 業務指導單位:國家標準化管理委員會
下設分委會,相關國標計畫,

下設分委會

#
委員會編號
委員會名稱
專業領域
成立年代
1
TC203/SC1
氣體
電子工業用氣體(微電子、光電子、平板顯示器製造用氣體等)
1993年
2
TC203/SC2
材料
半導體材料
1993年
3
TC203/SC3
封裝
封裝
1993年
4
TC203/SC4
微光刻
微光刻術語等基礎通用,掩模基片、掩模版及光致抗蝕劑等關鍵材料的產品規範和檢測方法,微光刻圖形數據處理技術、光學光刻與電子束光刻工藝等微光刻關鍵工藝規範,光掩模製造與光刻工藝相關設備及部件等
2020年

相關國標計畫

#
計畫號
項目名稱
制修訂
計畫下達日期
項目狀態
1
20204893-T-469
碳化矽外延層厚度的測試 紅外反射法
制訂
2020-12-28
正在起草
2
20204892-T-469
半導體單晶晶體質量的測試 X射線衍射法
制訂
2020-12-28
正在起草
3
20204891-T-469
矽片表面光澤度的測試方法
制訂
2020-12-28
正在起草
4
20204890-T-469
電子特氣 一氧化氮
制訂
2020-12-28
正在起草
5
20204895-T-469
矽錠、矽塊和矽片中非平衡載流子複合壽命的測試 非接觸渦流感應法
制訂
2020-12-28
正在起草
6
20204889-T-469
電子特氣 六氯乙矽烷
制訂
2020-12-28
正在起草
7
20204894-T-469
藍寶石單晶晶棒
修訂
2020-12-28
正在起草
8
20204090-T-469
電子級正矽酸乙酯
制訂
2020-11-23
正在起草
9
20204091-T-469
平板顯示陣列用正性光阻材料 感光度測試方法
制訂
2020-11-23
正在起草
10
20203728-T-469
碳化矽外延片表面缺陷的測試 顯微可見光法
制訂
2020-11-23
正在起草

相關詞條

熱門詞條

聯絡我們