全國半導體設備和材料標準化技術委員會編號TC203，由國家標準化管理委員會籌建及進行業務指導。
基本介紹
- 中文名：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
- 外文名：Semiconductor Equipment and Materials
- 籌建單位：國家標準化管理委員會
- 業務指導單位：國家標準化管理委員會
下設分委會,相關國標計畫,
下設分委會
# | 委員會編號 | 委員會名稱 | 專業領域 | 成立年代 |
|---|---|---|---|---|
1 | TC203/SC1 | 氣體 | 電子工業用氣體（微電子、光電子、平板顯示器製造用氣體等） | 1993年 |
2 | TC203/SC2 | 材料 | 半導體材料 | 1993年 |
3 | TC203/SC3 | 封裝 | 封裝 | 1993年 |
4 | TC203/SC4 | 微光刻 | 微光刻術語等基礎通用，掩模基片、掩模版及光致抗蝕劑等關鍵材料的產品規範和檢測方法，微光刻圖形數據處理技術、光學光刻與電子束光刻工藝等微光刻關鍵工藝規範，光掩模製造與光刻工藝相關設備及部件等 | 2020年 |
相關國標計畫
# | 計畫號 | 項目名稱 | 制修訂 | 計畫下達日期 | 項目狀態 |
|---|---|---|---|---|---|
1 | 20204893-T-469 | 碳化矽外延層厚度的測試 紅外反射法 | 制訂 | 2020-12-28 | 正在起草 |
2 | 20204892-T-469 | 半導體單晶晶體質量的測試 X射線衍射法 | 制訂 | 2020-12-28 | 正在起草 |
3 | 20204891-T-469 | 矽片表面光澤度的測試方法 | 制訂 | 2020-12-28 | 正在起草 |
4 | 20204890-T-469 | 電子特氣 一氧化氮 | 制訂 | 2020-12-28 | 正在起草 |
5 | 20204895-T-469 | 矽錠、矽塊和矽片中非平衡載流子複合壽命的測試 非接觸渦流感應法 | 制訂 | 2020-12-28 | 正在起草 |
6 | 20204889-T-469 | 電子特氣 六氯乙矽烷 | 制訂 | 2020-12-28 | 正在起草 |
7 | 20204894-T-469 | 藍寶石單晶晶棒 | 修訂 | 2020-12-28 | 正在起草 |
8 | 20204090-T-469 | 電子級正矽酸乙酯 | 制訂 | 2020-11-23 | 正在起草 |
9 | 20204091-T-469 | 平板顯示陣列用正性光阻材料 感光度測試方法 | 制訂 | 2020-11-23 | 正在起草 |
10 | 20203728-T-469 | 碳化矽外延片表面缺陷的測試 顯微可見光法 | 制訂 | 2020-11-23 | 正在起草 |
