張紫辰，男，中國科學院微電子研究所研究員，崑山微電子技術研究院副院長，中國科學院微電子研究所設備中心副主任，中國科學院矽器件技術重點實驗室副主任。
基本介紹
人物經歷,教育背景,工作經歷,研究方向,主要成就,學術成果,科研成果,科研項目,所獲榮譽,社會任職,
人物經歷
教育背景
2001.09-2005.06 東南大學，電子科學與技術 學士
2005.09-2007.06 東南大學，物理電子學 碩士
2007.09-2012.05 劍橋大學，光電子技術 博士
工作經歷
2012.05-2012.08 劍橋大學 助理研究員
2012.08-2015.08 清華大學 博士後、講師
2015.08-2016.08 清華大學 助理教授
2016.08-2018.03 中國科學院微電子研究所 副研究員
2018.03- 中國科學院微電子研究所 研究員
2018.01-崑山微電子技術研究院 副院長
2018.12-中國科學院微電子研究所設備中心 副主任
2020.11- 中國科學院矽器件技術重點實驗室 副主任
研究方向
圍繞雷射微納加工技術與裝備開展研究。
主要成就
學術成果
申報中國發明專利57項（授權28項），以第一/通訊作者發表SCI論文50餘篇，ESI高被引論文1篇。
科研成果
專利成果
（ 1 ） 一種雷射加工晶圓的方法及裝置, 2019, 第 3 作者, 專利號: ZL201710574318.4
（ 2 ） 一種雷射加工晶圓的控制方法及系統, 2019, 第 1 作者, 專利號: ZL201710674399.8
（ 3 ） 一種雷射加工晶圓的方法及系統, 2019, 第 1 作者, 專利號: ZL201710575307.8
（ 4 ） 一種雷射加工晶圓的方法及裝置, 2019, 第 3 作者, 專利號: CN201811607512.9
（ 5 ） 一種雷射加工晶片的方法, 2019, 第 5 作者, 專利號: CN2018116075114.0
（ 6 ） 一種雷射加工晶片的方法, 2019, 第 5 作者, 專利號: CN2018116072671.0
（ 7 ） 一種雷射加工晶片的裝置及方法, 2019, 第 5 作者, 專利號: CN2018116072370.0
（ 8 ） 一種雷射加工晶片的方法及裝置, 2019, 第 5 作者, 專利號: CN2018116072313.0
（ 9 ） 一種雷射加工晶片的裝置, 2019, 第 5 作者, 專利號: CN2018116072366.0
（ 10 ） 一種雷射加工晶圓的方法及系統, 2019, 第 5 作者, 專利號: CN2018116074997.0
（ 11 ） 一種雷射加工晶圓的方法及裝置, 2018, 第 3 作者, 專利號: 201710575956.8
（ 12 ） 一種雷射加工晶圓的裝置及方法, 2018, 第 1 作者, 專利號: ZL201710575459.8
（ 13 ） 一種雷射加工晶圓的方法及裝置, 2018, 第 3 作者, 專利號: ZL201710574565.4
（ 14 ） 一種雷射加工晶圓的方法及裝置, 2018, 第 3 作者, 專利號: ZL201710574325.4
（ 15 ） 一種雷射加工晶圓的方法及裝置, 2018, 第 3 作者, 專利號: ZL201710575865.4
（ 16 ） 一種雷射加工晶圓的控制方法及系統, 2018, 第 1 作者, 專利號: ZL201710574394.5
（ 17 ） 一種雷射加工晶圓的方法及裝置, 2018, 第 1 作者, 專利號: ZL201710574488.2
（ 18 ） 一種雷射加工晶圓的方法及裝置, 2018, 第 3 作者, 專利號: ZL201710574908.7
（ 19 ） 一種光學氫氣感測器及其製備方法和套用系統, 2017, 第 4 作者, 專利號: CN201711385495.4
（ 20 ） 一種法諾共振光學氫氣感測器及其製備方法和套用系統, 2017, 第 4 作者, 專利號: CN201711384825.8
（ 21 ） 一種紅外探測器及其製作方法, 2017, 第 1 作者, 專利號: CN201610971868.5
發表論文
（1） 基於高階表面電漿共振的窄帶完美吸波體, 紅外與雷射工程, 2020, 第 5 作者
（2） CMOS-compatible plasmonic hydrogen sensors with a detection limit of 40 ppm, Optics Express, 2019, 通訊作者
（3） Laser focal depth control in stealth dicing for wafer with heavily doped layer, The 20th International Conference on Electronic Packaging Technology (ICEPT), 2019, 第 2 作者
（4） A Carpet Cloak based on Gradient Metasurfaces. Journal of Physics: Conference Series, The 9th International Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Technology, 2019, 通訊作者
（5） Effect of Intrinsic Stress of Structural and Optical Properties of Amorphous Si-doped SnO2 Thin-Film, Materials, 2017, 通訊作者
（6） Enhanced performance of thermal-assisted electron field emission based on barium oxide nanowire, Applied Surface Science, 2017, 通訊作者
（7） Temperature-dependent optical response of phase-only nematic liquid crystal on silicon devices, Chinese Optics Letter, 2016, 第 1 作者
（8） High-Performance Photo-Modulated Thin-Film Transistor Based on Quantum dots/Reduced Graphene Oxide Fragment-Decorated ZnO Nanowires, (Cover)Nano-Micro Lett, 2016, 通訊作者
（9） Advanced Die-Level Assembly Techniques and Quality Analysis for Phase-Only Liquid Crystal on Silicon Devices, Proc IMechE Part B: J Engineering Manufacture, 2015, 第 1 作者
科研項目
（ 1 ） XXX雷射冷加工設備, 負責人, 國家任務, 2018-12--2021-03
（ 2 ） 雷射XXXX及XX, 負責人, 國家任務, 2018-11--2023-12
（ 3 ） 針對第三代半導體材料的雷射微米納米加工技術, 負責人, 研究所自主部署, 2018-12--2021-12
（ 4 ） 宇航級xxx晶片的雷射劃片工藝, 負責人, 國家任務, 2021-01--2023-12
（ 5 ） 雷射清洗設備, 負責人, 國家任務, 2021-12--2026-12
（ 6 ） 雷射雜質激活設備, 負責人, 國家任務, 2022-01--2024-12
（ 7 ） 雷射星間通信套用 , 負責人, 國家任務, 2023-01--2027-12
（ 8 ） 砷化鎵雷射劃片, 參與, 國家任務, 2023-01--2025-12
所獲榮譽
2021年度，中國儀器儀表學會技術發明一等獎；
2020年度，中國電子學會優秀科技工作者；
2019年度，中國科學院北京分院“啟明星”複合型人才；
2018年度，國家級青年人才
社會任職
2018-10-09-今,全國半導體設備和材料標準化技術委員會SAC/TC203, 委員
2018-05-31-今,中國指揮與控制協會, 智慧型可穿戴技術專業委員會，會員
2017-02-28-今,國家發改委技術改造與產業升級項目, 專家
2016-10-19-今,中國計量測試學會, 第七屆自動計量測控技術專業委員會，委員
2016-01-20-今,中國積體電路智慧財產權聯盟, 專家委員
2014-10-10-今,中國儀器儀表協會, 委員
2014-10-10-今,中國儀器儀表學會測量與控制專業委員會, 常務委員
2013-07-01-今,中國微米納米技術學會, 高級會員
