王曉亮(中國科學院半導體研究所教授)

基本介紹

• 中文名：王曉亮
• 國籍：中國
• 民族：漢
• 出生日期：1963年7月
• 專業方向：半導體材料及器件
• 職務：中科院半導體所研究員、博士生導師，西安交通大學兼職教授

基本信息

王曉亮，男，1963年7月生，博士，博士生導師，中國科學院半導體研究所研究員，中國科學院研究生院教授，西安交通大學“騰飛人才計畫”特聘教授，長期從事III-V族化合物半導體材料及器件的研發工作，近年來主要從事寬禁帶GaN基微波功率器件材料及器件、電力電子器件材料及器件、高效太陽能電池研發以及MOCVD設備研製等工作。中國電子學會理事；中國電子學會半導體與集成技術分會秘書長；中國電子科技集團公司“砷化鎵微波毫米波單片和模組電路國防科技重點實驗室”學術委員會委員。

個人履歷

2001.9至今為中科院半導體所研究員，博士生導師、西安交通大學-中科院半導體信息功能材料與器件聯合實驗室副主任。曾任中國科學院半導體研究所半導體能源研究發展中心副主任、科技開發處副處長、處長、所長助理等職。

1997.06.--- 2001.08. 中科院半導體所副研究員，碩士生導師。

1996.01.---1998.01. 中科院半導體所博士後。其中，1997年11月---1998年1月為香港科技大學訪問學者。

1984.07.---1995.10. 西北大學物理系講師助教、講師。

研究方向

III-V族化合物半導體材料及器件；寬禁帶半導體材料與器件、電力電子器件；太陽能電池；金屬有機物化學氣相外延設備（MOCVD）研製；半導體異質結構材料的分子束（MBE）外延生長。

主要科研業績

1996年起在國內率先開展了GaN基微波功率器件結構材料的研究工作，在該領域一直起骨幹、引領、示範和帶動作用，為核心電子器件國家重大科技專項的立項和啟動實施做了重要技術儲備和推動工作。主持國家重大科技專項、863重大項目、自然科學基金重大項目、973項目、中科院知識創新工程重要方向項目等多項國家重大課題的研究工作。在寬禁帶GaN基半導體微電子外延材料領域，帶領他的科研團隊，加班加點，頑強拼搏，通過自主創新，取得了重大技術突破，形成了系統的智慧財產權，取得了一批具有國內領先水平、國際先進水平的突出研究成果，一些成果達到國際領先水平。並基本建成國產GaN基微電子外延材料技術平台，實現了批量供片。用自主研製的GaN基微電子材料，先後合作研製出我國第一支GaN基HEMT器件、第一支GaN基X波段微波功率器件、第一塊GaN基微波單片積體電路和連續波輸出功率為132W、脈衝波輸出功率為176W的X波段微波功率模組電路，用自主研製的MOCVD設備，研製出了滿足使用要求的3英寸GaN基微波功率器件材料，強有力地支撐了新一代核心電子器件和電路在我國的發展，促進了關鍵電子元器件和電路晶片的國產化，對實現我國在新一代寬禁帶半導體領域的創新跨越做出重要貢獻。

MOCVD設備是信息產業的重大關鍵設備，長期以來，我國使用的MOCVD設備依賴從國外進口，對我國信息產業的安全和發展造成了嚴重威脅。王曉亮研究員帶領他的科研團隊，不畏艱難，不怕吃苦，通過三年的不懈努力，克服了一個又一個困難，攻克了一個又一個技術難關，於2009年10月成功研製出我國首台一次可生長7片2英寸（3片3英寸）GaN基外延材料的MOCVD工程化樣機，2011年用該樣機研製出3英寸GaN基微波功率器件外延材料產品。該樣機經驗證具有很好的重複性、穩定性和可靠性，其綜合性能與國外同類設備相當，實現了MOCVD設備核心技術的自主研發與創新。2012年所取得的MOCVD製造的關鍵專利技術以無形資產（2000萬）投資到廣東中科宏微半導體設備有限公司，推動了MOCVD設備的產業化。2014年研製成功可生長2-8英寸GaN基微電子材料的MOCVD裝備，所研製的材料性能達到國際先進水平，加速了我國信息產業核心裝備-MOCVD裝備的自主創新發展和工程化產業化進程。

另外，王曉亮研究員帶領他的科研團隊，系統開展了GaN基新型電力電子器件研究工作，並通過結構材料設計、外延生長、和器件製備工藝的攻關和最佳化，研製出具有國內領先水平GaN基耗盡型和增強型開關器件，兩端器件擊穿電壓1960V，三端器件擊穿電壓1240V，為下一步的發展和套用打下了基礎。

從九十年代至今在國內外主要學術刊物上發表研究論文160餘篇，撰寫《10000個科學難題》信息科學卷中的專題篇“固態微波器件”（p328-331，科學出版社）；獲授權國家發明專利30餘項，形成了系統的智慧財產權；已培養並取得博士學位的研究生28名。

學術團體任職或兼職

任中國電子學會理事，中國電子學會半導體與集成技術分會秘書長；中國能源學會第二屆理事會理事；全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會委員；中科院半導體研究所學術委員會委員；中國電子科技集團公司“砷化鎵微波毫米波單片和模組電路國防科技重點實驗室”學術委員會委員；“電子物理與器件教育部重點實驗室”學術委員會委員；陝西省信息光子技術重點實驗室學術委員會委員等。

其他榮譽

任第十四屆全國化合物半導體材料、微波器件和光電器件學術會議程式委員會副主席,組織委員會主席；第十五屆全國化合物半導體材料、微波器件和光電器件學術會議程式委員會副主席；第十六屆全國半導體積體電路、矽材料學術會議學術委員會副主席；第十六、十七屆全國化合物半導體材料、微波器件和光電器件學術會議程式委員會主席。任國家科技獎評審專家及中央組織部千人計畫評審專家。

獲獎情況

2006年榮獲中國科學院裝備預先研究先進個人榮譽稱號。

2009年榮獲工信部科學技術成果一等獎。

2012年榮獲“全國優秀科技工作者”榮譽稱號。

2012年榮獲北京市科學技術獎二等獎。