光學薄膜技術（第3版）

《光學薄膜技術（第3版）》是2020年4月電子工業出版社出版的圖書，作者是盧進軍 等。

基本介紹

• 書名：光學薄膜技術（第3版）
• 作者：盧進軍 等
• ISBN：9787121385810
• 出版社：電子工業出版社
• 出版時間：2020年4月
• 頁數：256
• 字數：512千字
• 開本：16開
• 版次：01-01

內容簡介

本書系統地介紹薄膜光學的基本理論和器件設計的基本方法，適當地介紹一些新設計方法、新器件設計、新工藝技術。 全書共7章，主要內容包括：薄膜光學基礎，器件設計方法，薄膜製造基本方法，高質量光學薄膜器件的工藝方法，光學薄膜材料，光學薄膜特性測試，功能薄膜及其套用。

圖書目錄

第1章薄膜光學特性計算基礎

11引言

12單一界面的反射率和透射率

13單層介質膜的反射率

131單層介質膜與基底組合的等效光學導納

132單層介質膜的光學特性

14多層介質膜的反射率和透射率

15金屬薄膜的光學特性

16光學零件的反射率和透射率

17光學薄膜的色度表征與計算

171光學薄膜的透、反射率光譜與顏色

172CIE1931標準色度系統簡介

173薄膜顏色的色度學表征

思考題與習題

第2章介質膜系及其套用

21減反射膜

211單層減反射膜

212雙層減反射膜

213多層減反射膜

214高折射率基底的減反射膜

215含吸收層的防眩光減反射膜

22高反射膜

221周期性多層膜堆的反射率

222（LH）S周期性多層膜堆的高反射帶

223高反射帶的展寬

224傾斜入射時的高反射帶

225金屬反射膜

23中性分束膜

231介質中性分光鏡

232偏振中性分束稜鏡

233金屬中性分光鏡

24截止濾光片

241多層膜堆的通帶透射率

242通帶波紋的壓縮

243通帶的展寬和壓縮

244截止波長和截止帶中心的透射率

245截止濾光片傾斜使用時的偏振效應

246截止濾光片的套用

25帶通濾光片

251法布里-珀羅濾光片特性

252全介質法布里-珀羅濾光片

253誘導透射濾光片

254法布里-珀羅濾光片的最新套用

255寬頻通濾光片

26偏振分束膜

261膠合稜鏡介質偏振分光膜

262平板介質偏振分光鏡

263金屬柵偏振分光鏡

27消偏振膜系

271單波長消偏振

272受抑全反射寬波段消偏振分光鏡

273金屬-介質組合膜堆寬波段消偏振

274消偏振截止濾光片

思考題與習題

第3章光學薄膜製造技術

31光學真空鍍膜機

32真空與物理氣相沉積

33真空獲得與檢測

331真空泵

332低溫冷凝泵

333PVD使用的高真空系統

334真空度的檢測

34熱蒸發

35濺射

351輝光放電濺射

352磁控濺射

353離子束濺射

354離子、靶材與濺射率

36離子鍍

37離子輔助鍍

38電漿增強化學氣相沉積

381PECVD過程的動力學

382PECVD裝置

思考題與習題

第4章光學薄膜製造工藝

41光學薄膜器件的質量要素

42影響膜層質量的工藝要素

421影響薄膜器件質量的工藝要素及作用機理

422提高膜層機械強度的工藝途徑

423控制膜層折射率的主要工藝途徑

424獲得緻密膜層的方法

43獲得精確厚度的方法

431目視法

432極值法

433光電定值法

434任意膜厚的單波長監控

435石英晶振法

436寬光譜膜厚監控

44獲得均勻膜層的方法

441影響膜層厚度均勻性的因素

442獲得均勻膜層厚度的途徑

思考題與習題

第5章薄膜材料及其性質

51薄膜的微觀結構與性質

511薄膜結構的材料學基礎

512薄膜的光學性質

513薄膜的力學性質

52常用光學薄膜材料

521金屬薄膜

522介質薄膜

523特殊材料

思考題與習題

第6章光學薄膜特性測試與分析

61光學薄膜特性的檢測標準

611國標（JB/T 6179—92）中規定的光學零件鍍膜的分類、符號及標註

612國標（JB/T 8226—1999）中規定的光學零件鍍膜檢測項目

613國標（JB/T 8226—1999）中規定的光學零件鍍膜試驗方法

614國標（JB/T 8226—1999）中規定的光學零件鍍膜檢驗規則

62薄膜透射率、反射率的測量

621光譜儀的基本原理

622薄膜透射率的測量

623薄膜反射率的測量

63薄膜光學常數和厚度的測量

631光度法確定薄膜的光學常數

632橢圓偏振法確定薄膜的光學常數

633薄膜厚度的測量

64薄膜吸收和散射的測量

641薄膜吸收損耗的測量

642薄膜散射損耗的測量

65薄膜雷射損傷閾值的測量

651薄膜雷射損傷的機理分析

652薄膜雷射損傷閾值的測量標準及方法

653薄膜抗雷射損傷閾值測量中應注意的幾個問題

66薄膜非光學特性的檢測

661薄膜附著力的測量

662薄膜應力的測量

663薄膜的環境試驗

664薄膜結構和化學成分檢測

思考題與習題

第7章功能薄膜及其套用

71透明導電薄膜

711透明導電薄膜的分類

712透明導電薄膜的基本特性

713透明導電氧化物薄膜的製備

714透明導電氧化物薄膜的特性測試

715透明導電氧化物薄膜的套用

72太陽能薄膜

721太陽能光熱轉換薄膜

722太陽能光電轉換薄膜

73超硬薄膜材料

731金剛石薄膜

732類金剛石（DLC）薄膜

733立方氮化硼薄膜

734CNx薄膜

735其他硬質薄膜

74相位膜

741屋脊稜鏡的偏振像差

742矯正偏振像差的相位膜

743屋脊稜鏡偏振像差的表征與檢測

思考題與習題

附錄A常見薄膜材料參數

參考文獻