《光學薄膜厚度的光干涉測試方法》是2019年9月科學出版社出版的圖書，作者是蘇俊宏。
基本介紹
- 中文名：光學薄膜厚度的光干涉測試方法
- 作者：蘇俊宏
- 類別：機械工程
- 出版社：科學出版社
- 出版時間：2019年9月
- ISBN：9787030623027
圖書簡介,圖書目錄,
圖書簡介
光干涉測試技術是以波長為計量單位的現代光學測試技術的重要組成部分，具有測量結果準確、精度高、過程客觀等優點。《光學薄膜厚度的光干涉測試方法》以光干涉測試技術為原理，以光學薄膜厚度參數為測量對象，介紹幾種實現光學薄膜厚度測量的光干涉測試方法，包括干涉條紋法、快速傅立葉變換法、相位偏移干涉法、數字疊柵法，以及錯位干涉法、外差干涉法和條紋掃描法。《光學薄膜厚度的光干涉測試方法》是作者研究工作的系統總結，具有理論與實踐密切結合、論述系統深入、測試結果來源於工作實際的特點。
圖書目錄
- 前言
- 第1章光學薄膜參數及其測量
- 第2章干涉法測量薄膜厚度原理
- 第3章干涉條紋法測量薄膜厚度
- 第4章快速傅立葉變換法測量薄膜厚度
- 第5章相位偏移干涉法測量薄膜厚度
- 第6章數字疊柵法測量薄膜厚度
- 第7章薄膜厚度測量的其他光干涉測試方法
