光學薄膜技術(2005年西北工業大學出版社出版的圖書)

內容簡介

　　本書作為光學技術專業的教材，既系統地介紹薄膜光學的基本理論和器件設計的基本方法，又儘可能地介紹新設計方法、新器件設計、新工藝技術。全書共五章，章是薄膜光學特性計算基礎，第二章介紹介質膜系及其套用，第三章介紹薄膜製造枝術，第四章重點介紹光學薄膜製造工藝，第五章介紹薄膜材料及其性質。附錄提供了70餘種光學薄膜材料的*特性參數。本書既可作為光學技術專業大專、本科、研究生的教材，也可作為從事光學薄膜工作的科研、生產人員參考用書。

圖書目錄

第一章薄膜光學特性計算基礎

　1.1 單一界面的反射率和透射率

　1.2　單層介質膜的反射率

　1.3 多層介質膜的反射率和透射率

　1.4　金屬薄膜的光學特性

　1.5　光學零件的反射率和透射率

第二章介質膜系及其套用

　2.1 減反射膜

　2.2　高反射膜

　2.3　中性分束膜

　2.4　截止濾光片

　2.5　帶通濾光片

　2.6　偏振分束膜

　2.7　消偏振膜系

第三章　薄膜製造技術

3.1　光學真空鍍膜機

3.2　真空與物理汽相沉積

3.3　真空獲得與檢測

3.4　熱蒸發

3.5　濺射

3.6 離子鍍

3.7　離子輔助鍍

第四章　光學薄膜製造工藝

　4.1 光學薄膜器件的質量要素

　4.2　影響膜層質量的工藝要素

　4.3　獲得精確厚度的方法

　4.4　獲得均勻膜層的方法

第五章　薄膜材料及其性質

　5.1　薄膜的微觀結構與性質

　5.2　常用光學薄膜材料

附錄　常見薄膜材料參數

參考文獻

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