三維X射線顯微鏡

三維X射線顯微鏡

三維X射線顯微鏡是一種用於信息科學與系統科學領域的分析儀器,於2016年12月8日啟用。

基本介紹

  • 中文名:三維X射線顯微鏡
  • 產地:美國
  • 學科領域:信息科學與系統科學
  • 啟用日期:2016年12月8日
  • 所屬類別:分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 光學顯微鏡
技術指標,主要功能,

技術指標

極限解析度0.9微米,最小體素尺寸70納米; X射線源:30-160kv透射閉管X射線源; 探測器:閃爍體+光學鏡頭+CCD,像素數量:2048×2048; 樣品台:四軸平移旋轉樣品台,載荷15公斤。

主要功能

材料或器件內部結構及缺陷的無損觀測,材料整體或局部的三維成像。

相關詞條

熱門詞條

聯絡我們