amhs

FabEX是一種最佳化的、“無需等待”的自動物料傳送系統，擁有其專利技術，傳送晶圓盒的速度非常快（>3米/秒），因而，能縮短生產周期，提高設備的利用率和增加生產產能。與採用傳統運輸裝置或者懸吊式搬運車輛的AMHS相比，FabEX速度更快，它能夠曲線移動或者爬坡，擺動小，有效控制了顆粒物的產生。由於FabEX不需要任何搬運車輛，所以它能提供很高的產能。以上特性都基於IP 技術控制和軟體，它能與晶圓廠實現無縫整合。FabEX非常的簡潔，更少的移動部件使其具備更高的傳送穩定性和更低的擁有成本。

基本介紹

• 中文名：自動物料搬送系統
• 外文名：AMHSAutomaticMaterialHandlingSystem
• 也稱為：天車系統
• 套用範圍：在半導體晶圓廠

簡介

AMHSAutomaticMaterialHandlingSystem,中文譯作自動物料搬送系統，也有稱為天車系統的。這種搬送系統的套用範圍還是蠻多的，比如說機場的貨物運輸，自動化工廠的物料運輸，在我的記憶中，似乎上海圖書館也有這種類似的圖書自動搬送系統。 AMHS套用範圍最廣的還是在半導體晶圓廠。之所以晶圓廠會大規模的採用AMHS,基本上是基於它可以快速準確的將Carrier搬送到目的地，較少wafer的idletime,減少MO。但早期的6英寸晶圓廠由於wafer本身重量有限，套用並不是很廣，後來隨著8英寸晶圓廠的興起，AMHS的套用開始漸漸興盛起來。

設計改進

AMHS的搬送一般分為Interbay和Intrabay,OHS負責Interbay,而OHT(AGV/PGV/RGV)負責Intrabay。最初的AMHS的Interbay和Intrabay都是相互獨立的，中間通過Stocker連線起來。跨Bay的搬送也必須要通過Stocker才可以實現，即OHT+OHS+OHT。如Intel最早期的FAB廠，就可以看到這種款式的AMHS。在這種設計下，stocker的作用不僅僅是wafer的存儲，他還扮演了更為重用的wafer搬送的橋樑作用。如果說某一條bay上的Stocker發生了嚴重故障，很有可能會影響到這個bay上的waferMovement。

後來工程師們發現，跨BAY的搬送必須通過Stocker來完成，實在是影響效率，故在此基礎上加以改進，產生了第二代的AMHS,即部分區域跨Bay的搬送也可以由Intrabay的OHT來實現。即我們通常所說的EQtoEQ的直接搬送。

再然後，AMHS的設計研究人員發現，採用了這種EQtoEQ的直接搬送可以大大縮短Carrier的搬送時間，從而縮短wafer的cycletime,同時還可以大幅度的降低AMHS搬送效率對於Stocker的穩定性的依賴。所以，他們索性設計出了全廠性的EQtoEQ的第三代AMHS，即所有的Intrabay和interbay完全由OHT來實現，不需要Stocker作為中轉。這種情況下，stocker僅僅扮演了WaferStorage的角色。如，AMD的FAB就有這種設計。

再然後，AMHS的使用者覺得，由於stocker的搬送中轉作用消失了，而僅僅作為wafer的存儲倉庫，其占用的cleanroom的空間實在是不划算，（沒辦法，所讓cleanroom寸土寸金阿），於是設計人員發明了一种放在空中的carrier存儲裝置，稱之為ZFS，zerofootprintsystem,也有稱做UTS的。（undertracksystem）這種系統是直接懸掛在天花板下，位於intrabay和interbay的上方，所以根本不會占用生產機台的空間。這就是第四代的AMHS,Stocker+OHT+ZFS。如：Fujitsu和Micron的fab。由於AMHS系統的成本非常高，（簡單估算下來，一條8英寸的AMHS大概在10M$,而12英寸的AMHS大概在30M$左右。）在當前中國大陸的FAB廠中，使用AMHS的fab屈指可數。Smic,Grace,HHNEC,Hynix-st,BOE幾家。