《MEMS和微系統》是2004年機械工業出版社出版的圖書，作者是徐泰然。
基本介紹
- 書名：MEMS和微系統
- 作者：徐泰然
- 譯者：王曉浩
- ISBN：9787111132264
- 頁數：402
- 定價：38.00元
- 出版社：機械工業出版社
- 出版時間：2004-1
- 裝幀：簡裝本
- 副標題：設計與製造
內容簡介,作者簡介,
內容簡介
微系統近年來迅速發展，在航天、汽車、生物技術、消費產品、國防、環境保護和安全、保障、製藥，以及遠程通信工業等方面都有廣泛的套用。本書對MEMS技術的基礎進行了深入的觀察，共分11章，介紹了微系統工程的發展，市場，產品，微系統所涉及的各工程學科的基礎知識、尺度效應、微系統工程的材料、微製造和微加工工藝及微系統的設計和封裝等內容。
本書可作為本科生或研究生課程的教材，還可以作為專業人士及相關人員了解MEMS參考書。
作者簡介
徐泰然教授從中國台灣國立成功大學獲得學士學位，從加拿大弗雷德溜克頓New Brunswick獲得碩士學位，從加拿大蒙特婁McGill大學獲得博士學位。他的所有學位都是機械工程專業的。
他積極參加由卓越的專業團體舉辦的微電子封裝、機械電子學、MEMS。
