《微米納米技術叢書·MEMS與微系統系列:聚合物微納製造技術》總結了作者王立鼎、劉沖、徐征、李經民、劉軍山等十年來在聚合物微納製造方面的科研成果，並介紹了國內外在這方面最新研究成果和發展動態，力求全面反映聚合物微納製造技術最新發展水平。闡述了聚合物微納製造的各項關鍵技術，涵蓋了聚合物材料特性、微納成形工藝技術及設備、高能束刻蝕、封合連線技術及設備等，並對聚合物微納技術典型套用情況進行了總結。目的是使讀者能夠切實和全面地了解聚合物微納製造技術的原理和最新進展。
基本介紹
- 書名：微米納米技術叢書•MEMS與微系統系列:
- 作者：王立鼎 劉沖
- 出版日期：2012年11月1日
- 語種：簡體中文
- ISBN：9787118083590
- 品牌：國防工業出版社
- 外文名：Polymer Micro-Nanofabrication Technology
- 出版社：國防工業出版社
- 頁數：208頁
- 開本：16
- 定價：83.00
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
《微米納米技術叢書·MEMS與微系統系列:聚合物微納製造技術》讀者對象：相關專業的科研人員、高校教師與學生、以及技術管理人員。更適於從事微納器件設計和製造人員或涉及微納領域的研究生用做參考書。
圖書目錄
第1章緒論
1.1微納製造概論
1.2聚合物微納製造發展簡史
1.3聚合物微納製造方法概述
參考文獻
第2章聚合物材料結構特徵與性能
2.1聚合物材料的特點與分類
2.2微納領域常用的聚合物材料
2.2.1聚甲基丙烯酸甲酯
2.2.2聚醯亞胺
2.2.3聚對二甲苯
2.2.4聚二甲基矽氧烷
2.2.5光敏聚合物
2.3聚合物材料的玻璃化轉變
2.3.1描述熱塑性聚合物玻璃轉化的理論
2.3.2聚合物分子鏈剛性對玻璃轉化溫度的影響
2.3.3聚合物分子量對玻璃轉化溫度的影響
2.3.4聚合物分子結構對玻璃轉化溫度的影響
2.3.5交聯度對玻璃轉化溫度的影響
2.4熱塑性聚合物材料的高彈態力學性能
2.4.1高彈性
2.4.2熱彈逆變現象
2.5聚合物熔體的流變特性
2.5.1聚合物熔體流動傳輸方程
2.5.2聚合物熔體本構關係
參考文獻
第3章微注塑成型
3.1微注塑成型的套用背景
3.2微注塑成型的特徵
3.3微注塑成型計算機輔助設計方法
3.4微注塑成型模具製造方法
3.4.1微注塑成型模具組成
3.4.2微模具型芯材料選擇和加工方法
3.5微注塑機
3.6微注塑成型模具設計與注塑工藝最佳化
3.6.1微注塑成型模具設計
3.6.2微注塑成型工藝參數最佳化
參考文獻
第4章微熱壓成型
4.1聚合物微熱壓形變填充機理
4.2微熱壓中聚合物形變填充理論模型
4.2.1玻璃態應力模型
4.2.2高彈態應力模型
4.2.3應變模型
4.3熱塑性聚合物熱壓形變填充的數值模擬
4.4玻璃態/高彈態聚合物熱壓形變填充實驗
4.5微熱壓成型設備
4.6微熱壓模具製作技術
4.7微熱壓成型工藝正交試驗
參考文獻
第5章軟刻蝕方法
5.1PDMS彈性印章及其他PDMS微器件的製造方法
5.1.1PDMS固化機理
5.1.2PDMS模塑成型工藝步驟
5.1.3PDMS表面改性
5.1.4PDMS微納器件封合方法
5.1.5典型PDMS微納器件與單元
5.2微接觸印刷法
5.3轉移微模塑法
5.4毛細微模塑法
5.5溶劑輔助聚合物微模塑
參考文獻
第6章高能束微納刻蝕
6.1雷射刻蝕
6.1.1雷射刻蝕的概念與特徵
6.1.2CO2雷射刻蝕
6.1.3準分子雷射刻蝕
6.1.4飛秒雷射刻蝕
6.2電子束和聚焦離子束刻蝕
6.2.1電子束刻蝕
6.2.2聚焦離子束刻蝕
6.3電漿刻蝕
參考文獻
第7章聚合物微納器件封合與集成
7.1熱鍵合封合
7.1.1直接熱鍵合
7.1.2輔助熱鍵合
7.1.3多層微流控晶片熱鍵合
7.2雷射焊接
7.3直接黏接法
7.4超音波焊接
7.5聚合物表面的金屬圖形化
7.5.1易腐蝕金屬的濕法腐蝕工藝
7.5.2惰性金屬的剝離工藝
7.5.3化學鍍工藝
參考文獻
第8章聚合物微流控晶片及套用
8.1聚合物微流控晶片概述
8.2微流控晶片中流體流動與物質輸運
8.2.1微流控晶片中流體流動現象
8.2.2微流控晶片中樣品輸運現象
8.2.3微流控晶片中液體流動和樣品輸運特點
8.2.4描述微流控晶片中液體和樣品輸運的無量綱數
8.3微流控晶片單元技術
8.3.1過濾
8.3.2富集濃縮
8.3.3微混合
8.3.4分離單元
8.3.5檢測方法
8.4微流控晶片套用現狀
8.4.1臨床疾病診斷方面
8.4.2食品安全方面
8.4.3環境監測領域
8.5展望
參考文獻
第9章聚合物在微小型燃料電池中的套用
9.1微型質子交換膜燃料電池概述
9.1.1發展歷程
9.1.2結構和工作原理
9.1.3套用前景
9.2聚合物流場板的套用
9.2.1燃料電池流場板功能
9.2.2聚合物流場板製作方法
9.2.3聚合物流場板導電增強方法
9.2.4基於聚合物流場板的微型燃料電池
9.3質子交換膜
9.3.1全氟質子交換膜
9.3.2全氟質子交換膜的改性
9.3.3質子交換膜厚度對微型燃料電池性能的影響
9.4聚合物微封裝技術
9.4.1微封裝工藝流程
9.4.2封裝應力對微型燃料電池性能的影響
9.4.3封裝聚合物特性
9.5套用實例
9.5.1環氧樹脂封裝孿生MEMS微型燃料電池
9.5.2次瓦級孿生電池堆
9.5.3氣液自驅替燃料電池堆
參考文獻
1.1微納製造概論
1.2聚合物微納製造發展簡史
1.3聚合物微納製造方法概述
參考文獻
第2章聚合物材料結構特徵與性能
2.1聚合物材料的特點與分類
2.2微納領域常用的聚合物材料
2.2.1聚甲基丙烯酸甲酯
2.2.2聚醯亞胺
2.2.3聚對二甲苯
2.2.4聚二甲基矽氧烷
2.2.5光敏聚合物
2.3聚合物材料的玻璃化轉變
2.3.1描述熱塑性聚合物玻璃轉化的理論
2.3.2聚合物分子鏈剛性對玻璃轉化溫度的影響
2.3.3聚合物分子量對玻璃轉化溫度的影響
2.3.4聚合物分子結構對玻璃轉化溫度的影響
2.3.5交聯度對玻璃轉化溫度的影響
2.4熱塑性聚合物材料的高彈態力學性能
2.4.1高彈性
2.4.2熱彈逆變現象
2.5聚合物熔體的流變特性
2.5.1聚合物熔體流動傳輸方程
2.5.2聚合物熔體本構關係
參考文獻
第3章微注塑成型
3.1微注塑成型的套用背景
3.2微注塑成型的特徵
3.3微注塑成型計算機輔助設計方法
3.4微注塑成型模具製造方法
3.4.1微注塑成型模具組成
3.4.2微模具型芯材料選擇和加工方法
3.5微注塑機
3.6微注塑成型模具設計與注塑工藝最佳化
3.6.1微注塑成型模具設計
3.6.2微注塑成型工藝參數最佳化
參考文獻
第4章微熱壓成型
4.1聚合物微熱壓形變填充機理
4.2微熱壓中聚合物形變填充理論模型
4.2.1玻璃態應力模型
4.2.2高彈態應力模型
4.2.3應變模型
4.3熱塑性聚合物熱壓形變填充的數值模擬
4.4玻璃態/高彈態聚合物熱壓形變填充實驗
4.5微熱壓成型設備
4.6微熱壓模具製作技術
4.7微熱壓成型工藝正交試驗
參考文獻
第5章軟刻蝕方法
5.1PDMS彈性印章及其他PDMS微器件的製造方法
5.1.1PDMS固化機理
5.1.2PDMS模塑成型工藝步驟
5.1.3PDMS表面改性
5.1.4PDMS微納器件封合方法
5.1.5典型PDMS微納器件與單元
5.2微接觸印刷法
5.3轉移微模塑法
5.4毛細微模塑法
5.5溶劑輔助聚合物微模塑
參考文獻
第6章高能束微納刻蝕
6.1雷射刻蝕
6.1.1雷射刻蝕的概念與特徵
6.1.2CO2雷射刻蝕
6.1.3準分子雷射刻蝕
6.1.4飛秒雷射刻蝕
6.2電子束和聚焦離子束刻蝕
6.2.1電子束刻蝕
6.2.2聚焦離子束刻蝕
6.3電漿刻蝕
參考文獻
第7章聚合物微納器件封合與集成
7.1熱鍵合封合
7.1.1直接熱鍵合
7.1.2輔助熱鍵合
7.1.3多層微流控晶片熱鍵合
7.2雷射焊接
7.3直接黏接法
7.4超音波焊接
7.5聚合物表面的金屬圖形化
7.5.1易腐蝕金屬的濕法腐蝕工藝
7.5.2惰性金屬的剝離工藝
7.5.3化學鍍工藝
參考文獻
第8章聚合物微流控晶片及套用
8.1聚合物微流控晶片概述
8.2微流控晶片中流體流動與物質輸運
8.2.1微流控晶片中流體流動現象
8.2.2微流控晶片中樣品輸運現象
8.2.3微流控晶片中液體流動和樣品輸運特點
8.2.4描述微流控晶片中液體和樣品輸運的無量綱數
8.3微流控晶片單元技術
8.3.1過濾
8.3.2富集濃縮
8.3.3微混合
8.3.4分離單元
8.3.5檢測方法
8.4微流控晶片套用現狀
8.4.1臨床疾病診斷方面
8.4.2食品安全方面
8.4.3環境監測領域
8.5展望
參考文獻
第9章聚合物在微小型燃料電池中的套用
9.1微型質子交換膜燃料電池概述
9.1.1發展歷程
9.1.2結構和工作原理
9.1.3套用前景
9.2聚合物流場板的套用
9.2.1燃料電池流場板功能
9.2.2聚合物流場板製作方法
9.2.3聚合物流場板導電增強方法
9.2.4基於聚合物流場板的微型燃料電池
9.3質子交換膜
9.3.1全氟質子交換膜
9.3.2全氟質子交換膜的改性
9.3.3質子交換膜厚度對微型燃料電池性能的影響
9.4聚合物微封裝技術
9.4.1微封裝工藝流程
9.4.2封裝應力對微型燃料電池性能的影響
9.4.3封裝聚合物特性
9.5套用實例
9.5.1環氧樹脂封裝孿生MEMS微型燃料電池
9.5.2次瓦級孿生電池堆
9.5.3氣液自驅替燃料電池堆
參考文獻
