淄博高新技術產業開發區MEMS研究院由山東省淄博高新區管委會與清華大學機械工程學院於2010年11月共同建設，是微機電製造領域國內第一個校地共建研究院，是全國微納製造、器件與系統協同創新中心成員單位。研究院聘任中國工程院院士、清華大學副校長尤政擔任研究院名譽院長。
淄博高新技術產業開發區MEMS研究院設有“精密測試技術及儀器國家重點實驗室MEMS分實驗室”、“清華大學微米納米技術研究中心MEMS分中心”和“智慧型微系統教育部重點實驗室MEMS分實驗室”等分中心和分實驗室，提供MEMS器件小試、中試、代工、檢測分析等專業服務，及微機電製造領域智慧財產權管理和工藝標準化等公共服務。
淄博高新技術產業開發區MEMS研究院投資建設了國內首條矽基4/6英寸兼容MEMS中試代工平台，超淨規模國內一流；配備了國際一流設備的中試代工線，中試生產能力可達月產感測器十萬隻，產品的測試環境也居國內先進水平。
