電弧蒸發

中文名稱電弧蒸發
英文名稱arc evaporation
定  義將蒸發材料作為電極,在外加電壓下,電極間依靠電漿導電產生弧光放電,從而使電極材料被蒸發。
套用學科材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),薄膜製備技術(四級學科)

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