| 中文名稱 | 電子轟擊電弧放電蒸發 |
| 英文名稱 | electron bombard |
| 定 義 | 蒸發材料作為陽極，利用電子轟擊陽極靶材，產生電弧電漿，使靶材材料蒸發。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），薄膜製備技術（四級學科） |
| 中文名稱 | 電子轟擊電弧放電蒸發 |
| 英文名稱 | electron bombard |
| 定 義 | 蒸發材料作為陽極，利用電子轟擊陽極靶材，產生電弧電漿，使靶材材料蒸發。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），薄膜製備技術（四級學科） |