雷射分子束外延設備

雷射分子束外延設備是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2015年3月20日啟用。

基本介紹

• 中文名：雷射分子束外延設備
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2015年3月20日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備 > 電加工工藝實驗設備

技術指標

雷射器輸出波長：248 nm,脈寬 20 ns,最高能量 400 mJ; 基底最高溫度 800 攝氏度；最高真空度 10-5 Pa; 4靶系統；帶有高氧壓RHEED監控系統。

主要功能

製備高熔點的氧化物、 III-V族化合物薄膜及 超晶格材料。